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1、 光伏發(fā)電系統(tǒng),是將陽光直接轉(zhuǎn)換成電能的高科技,而無塵車間是其生產(chǎn)過程中的關鍵環(huán)節(jié)。光伏行業(yè)涉及生產(chǎn)半導體集成電路芯片的原材料,對室內(nèi)空氣質(zhì)量要求較高。在不同類型的廠房中,空調(diào)凈化系統(tǒng)的設計各有特色,為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)提供穩(wěn)定環(huán)境。
2、 空調(diào)系統(tǒng),在切片室、倒角室、研磨片室等場所,只需控制溫度,采用風冷熱泵分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度。室內(nèi)機放置在車間內(nèi),室外機放置在屋面上,排風量大,新風采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機補充。 防塵要求高,空調(diào)機回風口處設中效過濾器,確??諝赓|(zhì)量。
3、 凈化系統(tǒng),光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風空調(diào)機組(MAU)和循環(huán)空調(diào)機組(AHU)的冷媒采用冷凍水,加熱采用蒸汽,加濕采用潔凈蒸汽。 CP室凈化級別為7級,換氣次數(shù)取為30次/小時,采用全新風空調(diào)機組(MAU-3)+高效過濾器送風口的空調(diào)方式。 氣流流程經(jīng)過多道過濾和加熱,確保潔凈區(qū)的空氣質(zhì)量。
4、 爐室、BSD室,溫度控制是關鍵,采用風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAL)來保證房間溫度。室內(nèi)機放置在車間內(nèi),室外機放置在屋面上,新風由相鄰潔凈室正壓過來。 防塵要求高,空調(diào)機回風口處設中效過濾器,確??諝赓|(zhì)量。5、 磨片檢查室,有溫度和濕度控制要求,采用風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAL)。 室內(nèi)機放置在車間內(nèi),室外機放置在屋面上,新風經(jīng)新風機組處理后,送至室內(nèi)。 相對濕度由新風機組來保證,車間有防塵要求,確??諝赓|(zhì)量。
6、 高效過濾器送風口(HEP-ABOX),是CP室空調(diào)方式的重要組成部分,確保氣流經(jīng)過多道過濾,達到高凈化級別。 凈化級別為7級,換氣次數(shù)取為30次/小時,為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)提供穩(wěn)定環(huán)境。
7、 新風機組(MAU),是光伏新能源凈化工程系統(tǒng)的核心,提供新鮮空氣,確保車間內(nèi)空氣質(zhì)量。經(jīng)處理后的新風,經(jīng)過送風管送到室內(nèi),為生產(chǎn)過程提供必要的條件。#新風機組
以上就是光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案,每個環(huán)節(jié)都至關重要,為生產(chǎn)提供穩(wěn)定環(huán)境。 期待光伏行業(yè)的發(fā)展,為我國新能源事業(yè)貢獻力量。
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