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LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24

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更新時(shí)間:2018-08-16 13:36:42瀏覽次數(shù):434

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LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24
海德漢的光柵尺的分辨率高達(dá)1納米,光柵尺的精度高達(dá)±0.1微米

詳細(xì)介紹

LC493F ML1640mm海德漢光柵尺 557642-24 

德國(guó)海德漢HEIDENHAIN位移傳感器的信號(hào)處理:
辨向原理
在實(shí)際應(yīng)用中,位移具有兩個(gè)方向,即選定一個(gè)方向后,位移有正負(fù)之分,因此用一個(gè) 光電元件測(cè)定莫爾條紋信號(hào)確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個(gè)莫爾條紋信號(hào)。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件,得到兩個(gè)相位差π/2的電信號(hào)u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個(gè)方波信號(hào)u01’和u02’。光柵正向移動(dòng)時(shí)u01超前u02 90度,反向移動(dòng)時(shí)u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運(yùn)動(dòng)方向。
細(xì)分技術(shù)
隨著對(duì)測(cè)量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當(dāng)?shù)拇胧?duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi),發(fā)出若干個(gè)脈沖,以減少脈沖當(dāng)量。如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖,則可使測(cè)量精度提高n備,而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細(xì)分方法:其一:直接細(xì)分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件,可得到兩個(gè)相位差90o的電信號(hào),用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差90o的交流信號(hào)。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個(gè)相位差90o的交流信號(hào),實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二:電路細(xì)分。

德國(guó)海德漢HEIDENHAIN位移傳感器的特性參數(shù):
標(biāo)稱阻值:電位器上面所標(biāo)示的阻值。
重復(fù)精度:此參數(shù)越小越好。
分辨率:位移傳感器所能反饋的zui小位移數(shù)值.此參數(shù)越小越好.導(dǎo)電塑料位移傳感器分辨率為無窮小。
允許誤差:標(biāo)稱阻值與實(shí)際阻值的差值跟標(biāo)稱阻值之比的百分?jǐn)?shù)稱阻值偏差,它表示電位器的精度。允許誤差一般只要在±20%以內(nèi)就符合要求,因?yàn)橐话阄灰苽鞲衅魇且苑謮旱姆绞絹硎褂茫唧w電阻的大小對(duì)傳感器的數(shù)據(jù)采集沒有影響。
線性精度:直線性誤差.此參數(shù)越小越好。
壽命:導(dǎo)電塑料位移傳感器都在200萬次以上。

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