當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光解一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時(shí)，先經(jīng)過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，即電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離， 從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。（在外加電場(chǎng)的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子安全物質(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無(wú)毒無(wú)害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。
  等離子光氧一體機(jī)的應(yīng)用也比較廣泛，主要運(yùn)用在造紙業(yè)、制藥行業(yè)、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產(chǎn)車間、垃圾處理、皮革行業(yè)、印刷行業(yè)、香料生產(chǎn)業(yè)、飼料廠及農(nóng)藥生產(chǎn)廠等多個(gè)行業(yè)中的有毒有害氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機(jī)對(duì)部分行業(yè)的凈化效率在95%左右，是目前市場(chǎng)上較好的廢氣凈化設(shè)備。