1.半導(dǎo)體不銹鋼螺桿真空泵的應(yīng)用范圍包括真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設(shè)備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空除氣、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。該設(shè)備具有特種涂層的螺桿轉(zhuǎn)子和泵腔，可以抽除可凝氣體，有毒有害氣體。內(nèi)部零件可進行防腐涂層處理，可適用于化工制藥行業(yè)的特殊要求。


2.半導(dǎo)體不銹鋼螺桿真空泵的特征特點：

（1）結(jié)構(gòu)簡單緊湊：對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結(jié)構(gòu)簡單。

（2）抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

（3）使用壽命長：由于腔內(nèi)部部件之間不摩擦，潤滑油在非氣體過流部分部件中循環(huán)。

（4）真空度高：單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環(huán)真空機組。

（5）無污染：無需任何工作介質(zhì)，因此無油污染，無污水。

（6）噪音低：一般情況下為80分貝左右。

（7）適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。

（8）從大氣抽*限壓力5Pa，只要一臺泵就能解決。