電子氣體是半導體工業(yè)中使用的一類特殊氣體，廣義上的電子氣體是指具有電子級純度的特種氣體，廣泛應用在包括集成電路、顯示面板、半導體照明和光伏等泛半導體行業(yè)。電子氣體按其門類可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。其中，特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝，高純氣體則主要用作稀釋氣和運載氣。按純度等級和使用場合分類，可以分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。按用途可分為大宗氣體，包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化碳等；電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、甲烷等氣體。
電子氣體的使用對電子工業(yè)的發(fā)展至關重要，隨著技術的進步，對電子氣體純度和潔凈度的要求也越來越高，需要達到5N(99.9999%)以上的純度，因為即使是痕量級雜質和污染物也會對最終器件質量和制造產量造成嚴重影響。
賽默飛針對電子大宗氣體、電子特氣分析需求，推出高純氣分析解決方案。配置Trace1600系列氣相色譜主機、脈沖放電氦離子檢測器(PDD)、可安裝色譜柱的大體積閥箱、帶吹掃保護氣閥的多閥多柱分析系統(tǒng)等，為用戶提供數(shù)十種電子氣體雜質的檢測方案。
高純氙中雜質分析
氙氣是一種天然稀有的惰性氣體。由于具有較高的密度，低導熱系數(shù)及可吸收X射線等特征，氙氣被廣泛的應用于電子電器，光電工業(yè)，醫(yī)療，電子芯片制造等行業(yè)。近年來隨著氙氣被應用于越來越多高端性產品的生產，行業(yè)對氙氣純度的要求也非常嚴格。
賽默飛Trace GC-PDD系統(tǒng)可對高純氙氣中ppb及至ppm級濃度的氫氣，氬氣，氧氣，氮氣，一氧化碳，甲烷，二氧化碳，氧化亞氮，氪氣，六氟化硫，六氟乙烷等雜質進行定性定量檢測，其靈敏度完全符合GB/T 5828-2006的要求，同時具有優(yōu)異的分離度和重現(xiàn)性。
高純氪中雜質
高純氪無色、無臭、無味、無毒、不可燃的單原子氣體，化學上惰性。廣泛應用于各類照明中，是良好的保護氣和發(fā)光氣。還應用于電真空、激光器、醫(yī)療衛(wèi)生等領域。目前，高純氪主要由大型空分設備從空氣中提取，因其在空氣中含量極少。因此售價高昂，被譽為“黃金氣體”。由于高純氪中雜質組分含量要求極低，脈沖放電氦離子化檢測器(PDD)對痕量雜質組分有很高的靈敏度，被用于做高純氣體中痕量雜質的檢測。
針對以上檢測需求，賽默飛采用Trace 1600系列氣相主機、帶有脈沖放電氦離子檢測器(PDD)、多閥多柱分析系統(tǒng)，實現(xiàn)稀有氣體高純氪中痕量的氫氣，氬氣，氧氣，氮氣，一氧化碳，四氟化碳，甲烷，二氧化碳，氙等9種雜質含量的檢測。方案分離效果好，檢測限低，重復性好，完全滿足標準GB/T 5829-2006 氪氣的檢測要求。
總 結
賽默飛提供模塊化氣相色譜儀(Trace 1600系列)、模塊化PDD檢測器、搭載功能強大的大體積閥箱多閥多柱分析系統(tǒng)，為多種電子氣體中痕量雜質分析提供高效的解決方案。
實現(xiàn)一次進樣，完成樣品中痕量雜質組分的檢測；
方案通過閥放空技術，有效避免了高純基質組分對痕量雜質的干擾；
方案可提供填充柱分析系統(tǒng)或毛細柱分系統(tǒng)，優(yōu)化的毛細柱分析系統(tǒng)實現(xiàn)了樣品氣中微量氬氣和氧氣的基線分離。
此外，賽默飛在電子氣體、高純氣分析領域，為廣大用戶提供更多完全定制化的解決方案，滿足用戶各不相同的檢測需求。
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