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　　無機質(zhì)譜儀，主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面，它與有機質(zhì)譜儀工作原理不同的是物質(zhì)離子化的方式不一樣：無機質(zhì)譜儀是以電感耦合高頻放電(ICP)或其他的方式使被測物質(zhì)離子化。
 

　　無機質(zhì)譜儀可以分為火花源質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。無機質(zhì)譜儀測試速度快，結(jié)果精確。
 

　　樣品溶液由蠕動泵和霧化氣的共同作用下經(jīng)霧化器的霧化作用形成氣溶膠，進入霧室，經(jīng)霧室選擇后，較小直徑的氣溶膠在約6000-8000K高溫下的等離子體中被去溶、蒸發(fā)、原子化和離子化，絕大部分變成帶一個電荷的正離子，離子在高速噴射流的作用下，經(jīng)采樣錐和分離錐后進入質(zhì)譜儀的真空系統(tǒng)，在離子透鏡的能量聚焦作用后，不同質(zhì)荷比離子選擇性通過四極桿質(zhì)量分析器，后到達檢測器進行檢測。
 

　　無機質(zhì)譜儀廣泛用于地質(zhì)學(xué)、礦物學(xué)、地球化學(xué)、核工業(yè)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、醫(yī)學(xué)衛(wèi)生、食品化學(xué)、石油化工等領(lǐng)域以及空間技術(shù)和工作等特種分析方面。
 

　　無機質(zhì)譜的分類如下
 

　　1、按分析目的可分：實驗室無機質(zhì)譜儀和工業(yè)無機質(zhì)譜儀。
 

　　2、按分析規(guī)?？煞郑盒⌒蜔o機質(zhì)譜儀和大型無機質(zhì)譜儀。
 

　　3、按結(jié)構(gòu)可分：臺式無機質(zhì)譜儀和落地式無機質(zhì)譜儀。
 

　　4、按進樣方式可分：間歇式進樣無機質(zhì)譜儀、直接探針進樣無機質(zhì)譜儀和色譜進樣無機質(zhì)譜儀等。
 

　　5、按聯(lián)用方式可分：無機氣質(zhì)聯(lián)用儀、無機液質(zhì)聯(lián)用儀、等離子體無機質(zhì)譜儀和無機串聯(lián)質(zhì)譜儀等。