從學術角度講，高純水又名超純水，是指化學純度*的水，其主要應用在生物、化學化工、

冶金、宇航、電力等領域，但其對水質(zhì)純度要求相當高，所以一般應用zui普遍的還是電子工業(yè)。例

如電力系統(tǒng)所用的高純水，要求各雜質(zhì)含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質(zhì)標準所

規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認為造成電路性能破

壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁

多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。不過近年來電子級水

標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用

都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

　　高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級

水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

　　高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：1、微電子工藝對水質(zhì)的要求；2、制水

工藝的水平；3、檢測技術的現(xiàn)狀。

　　在高純水的生產(chǎn)過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除；

水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射

或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水

的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的使用壽

命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

　　天然水中溶解的氣體主要有O 2 、CO 2 、SO 2 和少量的CH 4 、氡氣、氯等，在高純水的生產(chǎn)過

程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學殺

菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。