全氟橡膠 FFPM(Perfluoroelastomer) 優(yōu)點：

· 佳耐熱特性

· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性

· 低Outgassing 特性

· 優(yōu)異之抗Plasma特性

缺點：

· 耐低溫特性較差

· 原料價格較高

· 生產(chǎn)難度較高

適用范圍:

· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

硅氟橡膠

　　氟橡膠（FKM，FPM）分子式

　?。ㄒ唬?/span> 分子結(jié)構(gòu)

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type

　　CF3

　　—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type

　　OCF3