FS4003微機(jī)電氣體質(zhì)量傳感器

產(chǎn)品概述:

FS4003微機(jī)電氣體質(zhì)量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008微機(jī)電氣體質(zhì)量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍大到50SLPM；

產(chǎn)品特點(diǎn):

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)

  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

    - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

    - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

    - 輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓

    - 零點(diǎn)穩(wěn)定度高

    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

    - 低功耗、低壓損

    - 響應(yīng)速度快

產(chǎn)品特點(diǎn):

性能參數(shù) FS4003 FS4008 微機(jī)電氣體質(zhì)量傳感器    單位

通 徑 3 8 mm

大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM

量程比 100:1  

精 度 ±(1.5+0.2FS) %

重復(fù)性 0.75 %

零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV

輸出飄移 0.12 %/oC

響應(yīng)時(shí)間 100 ms

工作電源 8~18Vdc,100mA   

輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc   

大流量壓損 100 600 pa

大工作壓力 0.5 MPa

工作溫度 -10 ~ +55 oC

存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC

工作濕度 <95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）   

機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭  

校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa  

重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）

71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)