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青島潔凈凈化技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 凈化不銹鋼傳遞窗,GMP車間高效送風(fēng)口,初中高效過濾器 |
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更新時(shí)間:2018-09-13 15:14:55瀏覽次數(shù):1279
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怎樣保證威海凈化工程潔凈室的濕溫度調(diào)控
威?;こ提槍崈羰业囊笤絹碓礁?,針對潔凈室的濕溫度調(diào)控,需技術(shù)人員的指導(dǎo)。
威海凈化工程,威海潔凈室裝修,威海潔凈室工程-潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
威海凈化工程,威海潔凈室裝修,威海潔凈室工程-濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司,主要承接百級至三十萬級無塵室設(shè)計(jì)施工,承接電子廠、食品廠、醫(yī)藥行業(yè)、實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)的凈化設(shè)計(jì)施工,生產(chǎn)銷售的凈化設(shè)備有風(fēng)淋室、傳遞窗、層流罩、初中過濾器、臭氧發(fā)生器、潔凈工作臺及凈化間耗材等。:威海凈化工程,威海潔凈室裝修,威海潔凈室工程