 |
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 凈化不銹鋼傳遞窗,GMP車間高效送風(fēng)口,初中高效過濾器 |
會(huì)員1.png)
|
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 凈化不銹鋼傳遞窗,GMP車間高效送風(fēng)口,初中高效過濾器 |
| 參考價(jià) | 面議 |
聯(lián)系方式：蔣佰千查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2018-12-28 13:35:04瀏覽次數(shù)：1222
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 凈化方式 | 靜電式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子廠房 |
|---|
淄博潔凈車間溫濕度控制要求
淄博潔凈車間溫濕度控制要求，潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
，具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司，承接國內(nèi)凈化工程裝修設(shè)計(jì)，。供應(yīng)的凈化設(shè)備有風(fēng)淋室、傳遞窗、初中過濾器、臭氧發(fā)生器、層流罩、潔凈工作臺(tái)及凈化間耗材等。青島潔凈凈化技術(shù)有限公司歡迎新老客戶的！
