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 真空閥門(mén)大致有兩種:一種是關(guān)閉后隔絕大氣和真空空間的開(kāi)關(guān)形閥門(mén),另一種是調(diào)整通氣量的流量可變閥門(mén)。后者在導(dǎo)入氣體之類(lèi)的設(shè)備上使用。    １.開(kāi)關(guān)氣路

    一般而言的真空閥門(mén)是指開(kāi)關(guān)氣路閥門(mén)。閥門(mén)的基本功能是在關(guān)閉時(shí)確實(shí)隔絕大氣和真空空間。

   （1）真空閥門(mén)的基本結(jié)構(gòu)

（1）閥門(mén)封口部,

（2）傳動(dòng)軸,

（3）外罩封口部。

以L形閥門(mén)為例如圖所示。根據(jù)三個(gè)部分的構(gòu)造不同,被利用在不同的真空領(lǐng)域。

   （2） 閥門(mén)的形式

 

    閥門(mén)大體有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥和閘閥。其特點(diǎn)由圖2所示。各種閥門(mén)根據(jù)應(yīng)用的真空領(lǐng)域而選定

 

   （3） 閥門(mén)的驅(qū)動(dòng)

    閥門(mén)的驅(qū)動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)兩種。自動(dòng)閥門(mén)以壓縮空氣驅(qū)動(dòng)為主,一部分小型閥門(mén)通過(guò)電磁鐵來(lái)驅(qū)動(dòng)。

    2.流量可變閥門(mén)

 

    流量可變閥門(mén)主要應(yīng)用于控制向真空容器內(nèi)氣體導(dǎo)入量和控制有效排氣速度。

   （1）氣體導(dǎo)入閥門(mén)

    圖3所示的閥門(mén),通過(guò)控制無(wú)氧銅和超硬合金接觸面的氣體導(dǎo)通率來(lái)控制氣體流量,信賴(lài)性高。流量可變閥門(mén)由金屬構(gòu)成,可以烘烤也可以切斷氣體導(dǎo)入。

           

    （2）流通量可變閥門(mén)

    這種閥門(mén)被安裝在真空腔和排氣泵之間,通過(guò)調(diào)節(jié)氣體導(dǎo)通率來(lái)調(diào)節(jié)排氣速度。相片1是蝶形閥門(mén),通過(guò)活塞角度的變化調(diào)節(jié)氣體導(dǎo)通率。