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拋光液過濾技術(shù)資料
閱讀:343 發(fā)布時間:2013-9-25拋光液過濾
拋光液過濾濾芯-拋光液澄清過濾-拋光液預過濾-拋光液終端過濾
化學機械平坦化(簡稱CMP),又稱化學機械拋光,是機械消磨和化學腐蝕的組合技術(shù)。它借助超微粒子的研磨作用和化學腐蝕作用,在被研磨的介質(zhì)表面形成光潔平坦表面。CMP技術(shù)是一項新型的拋光技術(shù),主要適用于半導體制造領(lǐng)域。CMP過程的主要組成部分是拋光工件、拋光墊、和拋光液。拋光液一般有磨料、氧化劑及平衡溶劑,如去離子水或醇組成,根據(jù)一些具體情況還含有一些助劑,拋光液通過溶液化學提供化學作用,通過磨料提供了機械作用。磨料在向拋光表面?zhèn)鬟f機械性能的過程中發(fā)揮著重要作用,要達到較好的拋光效果,就必須控制磨料的顆粒大小,硬度和分散度。磨料尺寸需<1um,磨料的尺寸過大或過小均會使被拋光表面劃痕增加,降低拋光質(zhì)量,過濾拋光液是一種改善拋光質(zhì)量的方法,選擇合適的過濾系統(tǒng)可有效提供拋光液的拋光性能。
濾源公司提供的過濾器或過濾系統(tǒng)已成為拋光液過濾的!
過濾目的:去除超大顆粒,凝聚塊等雜質(zhì)粒子,而保留合適的磨料粒子。
應(yīng)用要求:
A:過濾過程中濾材的溶出物低,無介質(zhì)脫落。
B:過濾器已經(jīng)經(jīng)過純水沖洗,總有機碳(TOC)含量在規(guī)定范圍內(nèi)。
C:終端過濾器具有良好的雜質(zhì)粒子控制可靠性、持久性,當流量或壓力發(fā)生變化時,污染物不會卸載。
D:流量高,結(jié)構(gòu)堅固,過濾能力強,可滿足拋光液的過濾要求。
過濾器推薦:
過濾步驟 | 過濾器推薦 |
澄清過濾 | PP折疊 |
預過濾 | 多層PP折疊濾芯 |
終端過濾 | 尼龍折疊濾芯/PTFE/PVDF |