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臭氧在常溫、常壓下分子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，很快自行分解成氧氣和單個氧原子；后者具有很強的活性，對細菌有*的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會自行重新結(jié)合成為普通氧原子，不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對各種細菌（包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等）有*的殺滅能力，而且對殺死霉素也很有效。

1、臭氧的滅菌機制及過程類屬于生物化學過程， 氧化分解了細菌內(nèi)部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。
 

2、直接與細菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質(zhì)代謝生產(chǎn)和繁殖過程到破壞。
 

3、滲透胞膜組織，侵入細胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細胞發(fā)生通透畸變，導致細胞溶解死亡。并且將死亡菌體內(nèi)遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原（細菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素）等溶解變性滅亡。 綜觀無菌技術(shù)對微生物作用的原理可分為抑菌、殺菌和溶菌三種。應用臭氧作滅菌劑是屬于溶菌。所謂溶菌，即可達到“*、*地消滅物體表面所有微生物”的效果。