2XZ型旋片式真空泵系雙級高速直聯(lián)結(jié)構(gòu)旋片式真空泵（以下簡稱泵）。它有偏心地裝在泵腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子，及轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的旋片。轉(zhuǎn)子帶動旋轉(zhuǎn)時，旋片緊貼腔壁，把進、排氣口分隔開來，并使進氣積腔容積周期性地擴大而吸氣，排