半導(dǎo)體冷水機(jī)低溫冰水機(jī)Chiller，應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成