概述基于革新的MEMS科氏力測(cè)量技術(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)氣體密度測(cè)量的儀表，從經(jīng)濟(jì)性出發(fā)進(jìn)行參數(shù)在線監(jiān)測(cè)，例如：氣體密度或二元?dú)怏w純度，可同時(shí)監(jiān)控密度或純度，壓力，溫度