羅茨真空泵主要由一對高速旋轉(zhuǎn)的“8”字型轉(zhuǎn)子與兩個半圓形的泵腔組成。該泵不能單獨排氣，必須與前級泵（如滑閥泵、旋片泵、水環(huán)泵、油環(huán)泵等）串聯(lián)使用。在前級泵進氣口前面串聯(lián)上羅茨真空泵組成機組可提高前級泵