INFICON傳感器射頻傳感器INFICON射頻傳感技術(shù)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體過(guò)程工具提供高度準(zhǔn)確、寬頻、頻率判別式射頻測(cè)量。通過(guò)此射頻數(shù)據(jù)，可以詳細(xì)了解過(guò)程開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程問(wèn)題中的實(shí)際等離子狀態(tài)，大幅降低過(guò)程變異性。