CCD型電動(dòng)超高真空插板閥是通過電動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)閥桿帶動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。CCQ型氣動(dòng)超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。