圖爾克傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、分辨力高，能感受0.01μm甚至更小的位移、無反作用力、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、能實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量、能在惡劣環(huán)境下工作等優(yōu)點(diǎn)，而且隨著新工藝、新材料問世，特別是電子技術(shù)的發(fā)展，使干擾