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《真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第4部分：渦輪分子泵》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)征求意見

2024-03-12 15:01:07 來源：儀表網(wǎng) 閱讀量：9935

　　近日，由北京中科科儀股份有限公司起草，TC18(全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第4部分：渦輪分子泵》征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。

　　渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的一種真空泵。具有啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器、真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、航空航天、醫(yī)療設(shè)備和光學(xué)儀器等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

　　原有的真空泵標(biāo)準(zhǔn)體系中，對(duì)某些種類真空泵性能參數(shù)的測(cè)量提出了各自的要求，測(cè)量裝置和性能測(cè)量方法等內(nèi)容多有重復(fù)，且表述不清晰。特定真空泵標(biāo)準(zhǔn)的制定以總體要求為基礎(chǔ)，依據(jù)各自的特性來測(cè)定性能數(shù)據(jù)、極限值和特定運(yùn)行條件。當(dāng)特定真空泵的測(cè)量方法與總體要求存在差異時(shí)，以特定標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)。GB/T 40344《真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法》旨在從真空泵性能共性和特性的角度提出標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法，即總體要求和特定真空泵標(biāo)準(zhǔn)，擬由六個(gè)部分構(gòu)成。

　　——第 1 部分：總體要求。旨在提供一份用于測(cè)量真空泵性能參數(shù)的基礎(chǔ)文件，簡(jiǎn)化了今后對(duì)特定真空泵標(biāo)準(zhǔn)的制定。包含了三種體積流率的測(cè)量方法，以及真空泵基礎(chǔ)壓力、壓縮比和臨界前級(jí)壓力的測(cè)量方法。

　　——第 2 部分：容積真空泵。旨在以總體要求為基礎(chǔ)，對(duì)容積真空泵的性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法加以補(bǔ)充，包含了容積真空泵的體積流率、基礎(chǔ)壓力、水蒸氣容限、功耗和最低啟動(dòng)溫度的測(cè)量方法。

　　——第 3 部分：機(jī)械增壓泵的特定參數(shù)。旨在描述機(jī)械增壓泵的最大容許壓差、有效壓縮比、零流量壓縮比和溢流閥壓差的測(cè)量方法和特殊要求。

　　——第 4 部分：渦輪分子泵。旨在描述了以流量法和小孔法測(cè)量體積流率的測(cè)量方法和測(cè)量裝置，以及最大流量、臨界前級(jí)壓力、壓縮比、基礎(chǔ)壓力、振動(dòng)等參數(shù)的測(cè)量方法和測(cè)量裝置。

　　——第 5 部分：非蒸散型吸氣劑泵。旨在以總體要求為基礎(chǔ)，對(duì)非蒸散型吸氣劑泵的性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法加以補(bǔ)充。

　　——第 6 部分：低溫真空泵。旨在以總體要求為基礎(chǔ)，對(duì)低溫真空泵的性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法加以補(bǔ)充。

　　本文件是GB/T 40344《真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法》的第4部分。

　　本標(biāo)準(zhǔn)是等同采用 ISO 21360-4：2018《Vacuum technology─Standard methods for measuring vacuum-pump performance─ Part 4:Turbomolecular vacuum pumps》

　　本標(biāo)準(zhǔn)是在 GB/T 40344.1 的基礎(chǔ)上，規(guī)定了渦輪分子泵的性能測(cè)量方法和測(cè)量裝置。標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了以流量法和小孔法測(cè)量體積流率的步驟和裝置，最大流量、臨界前級(jí)壓力、壓縮比、基礎(chǔ)壓力、振動(dòng)等參數(shù)的測(cè)量方法和測(cè)量裝置。

　　本標(biāo)準(zhǔn)適用于所有規(guī)格和型式的渦輪分子泵。包括：帶機(jī)械軸承或磁軸承的渦輪分子泵、帶或不帶附加牽引級(jí)的或其它轉(zhuǎn)子抽氣級(jí)的渦輪分子泵、帶一個(gè)或多個(gè)進(jìn)氣口的渦輪分子泵。

　　本標(biāo)準(zhǔn)的制定進(jìn)一步推進(jìn)真空泵產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級(jí)，推動(dòng)我國(guó)渦輪分子泵先進(jìn)裝備制造技術(shù)的快速發(fā)展和質(zhì)量提升。本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布實(shí)施不僅能規(guī)范渦輪分子泵的性能要求，為設(shè)計(jì)、制造、檢測(cè)和應(yīng)用提供指導(dǎo)和技術(shù)依據(jù)，規(guī)范渦輪分子泵產(chǎn)業(yè)的有序發(fā)展，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整與優(yōu)化升級(jí)。亦能通過規(guī)范渦輪分子泵的性能參數(shù)和測(cè)量規(guī)則，實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)外渦輪分子泵產(chǎn)品以及應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)比對(duì)，為使用者在綜合考慮國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品性能時(shí)，提供指導(dǎo)依據(jù)。

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