日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES
低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器勵調(diào)節(jié)閥
MODEL 6610 SERIES
與MODEL6600相比。新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好。能夠快速準確地進行壓力調(diào)節(jié)。
本產(chǎn)品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導體制造設備。
具有低壓側(cè)高精度控制的特性
將壓力設為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態(tài)的半導體領域等。防松螺母結(jié)構(gòu)
通過防松螺母固定設定過一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設定發(fā)生變化。不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會發(fā)生氣體外泄，請您放心使用。
用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設備
用于半導體領域等
尺寸圖
標準規(guī)格
| 流體 | 各種氣體 |
|---|---|
| 一次側(cè)*大壓力 | 0.4MPa |
| 二次側(cè)控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
| *大流量 | 5L/MIN |
| *小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
| 耐壓力 | 0.8MPa |
| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
| 環(huán)境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質(zhì) | SUS316、氟橡膠、硬質(zhì)玻璃 氟樹脂、SUS304、SUS303 |
流量特性
特殊規(guī)格
標準規(guī)格以外的接頭。
訂購方法
接口接頭時，僅IN OUT接頭。
儀表端口為止水栓。壓力表口等價于OUT口。
可任意將某處設為表口或OUT口。
