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日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)
更新時(shí)間2025/3/12 7:46:38
訪問(wèn)次數(shù)6

產(chǎn)品標(biāo)簽:

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靈活的常壓CVD系統(tǒng)，適用于小規(guī)模生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)D501型間歇式常壓CVD系統(tǒng)，用于將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501特征這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中，托盤在分散頭下來(lái)回移動(dòng)以形成薄膜。可以處理不規(guī)則的基材。它具有緊湊的設(shè)備尺寸和較小的占用空間。性能涂層厚度均勻性取決于膜類型和厚度支持的晶圓尺寸符合可加熱區(qū)氣體種類SiH

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501 產(chǎn)品信息

靈活的常壓CVD系統(tǒng)，適用于小規(guī)模生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)

D501型

間歇式常壓CVD系統(tǒng)，用于將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

特征

這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中，托盤在分散頭下來(lái)回移動(dòng)以形成薄膜。
可以處理不規(guī)則的基材。
它具有緊湊的設(shè)備尺寸和較小的占用空間。

性能

涂層厚度均勻性	取決于膜類型和厚度
支持的晶圓尺寸	符合可加熱區(qū)
氣體種類	SiH4、O2、PH3、B2H6、N2（TEOS、TEB、TMOP、O3、TMA可選）
沉積溫度	350°C~450°C
生產(chǎn)力	-

主要技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備尺寸	1200mm（寬） x 2480mm（深） x 1940mm（高）
加熱機(jī)制	電阻加熱
裝卸	手動(dòng)方式
分散頭（氣體噴嘴）	A63 頭