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半導(dǎo)體芯片清洗用高純水設(shè)備的設(shè)計(jì)

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公司名稱蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地蘇州市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2025/3/2 7:35:55
訪問次數(shù)43

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公司介紹主營產(chǎn)品

致力于純水、高純水、超純水設(shè)備的研制開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、安裝、調(diào)試、售后服務(wù)，可為客戶提供品質(zhì)優(yōu)良、技術(shù)*的凈化產(chǎn)品與服務(wù)。公司的宗旨：做較好的設(shè)備，做較好的服務(wù)。礦泉水\純凈水\飲用水系統(tǒng);制藥純化水設(shè)備\多效蒸餾水機(jī);電力電子\化工\醫(yī)藥等工業(yè)純水設(shè)備;反滲透\離子交換\超濾\納濾等設(shè)備;地下水除鐵\除錳\除氟\降硬設(shè)備;工業(yè)循環(huán)冷卻水系統(tǒng)\軟化水系統(tǒng);

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水處理設(shè)備,水處理設(shè)備

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芯片封裝生產(chǎn)工藝流程簡介：芯片：為外購的合格芯片

半導(dǎo)體芯片清洗用高純水設(shè)備的設(shè)計(jì) 產(chǎn)品信息

芯片封裝生產(chǎn)工藝流程簡介：

芯片：為外購的合格芯片。磨劃片：首先將藍(lán)膜貼在芯片的正面，目的是保護(hù)圓片正面的芯片防止擦傷、沾污等。接著利用全自動(dòng)磨片機(jī)對芯片的背面進(jìn)行研磨處理，使芯片厚度達(dá)到要求。磨片后將藍(lán)膜揭除。然后在芯片的背面貼一層藍(lán)膜，目的是將芯片固定從而可以進(jìn)行劃片，并在劃片后分成每顆芯片時(shí)不會(huì)脫落，以便于下道裝片工序。接著利用全自動(dòng)劃片機(jī)將晶片分離成單個(gè)芯片。在磨劃片過程中會(huì)產(chǎn)生熱量，因此需要用純水進(jìn)行冷卻，同時(shí)在磨劃時(shí)芯片表面會(huì)產(chǎn)生細(xì)小微粒，需要用高純水設(shè)備產(chǎn)生高純水進(jìn)行清洗。



電子級(jí)高純水設(shè)備工藝流程：





電子級(jí)高純水設(shè)備工藝介紹：

原水→原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑加藥系統(tǒng)/還原劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→中間水箱→高壓泵1→反滲透裝置1→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→精密過濾器→EDI電除鹽系統(tǒng)→EDI高純水箱→輸送泵→拋光混床→TOC去除器→精密過濾器→用水點(diǎn)

注：本系統(tǒng)采用反滲透+EDI處理工藝，主要有四個(gè)部分組成，預(yù)處理系統(tǒng)、二級(jí)反滲透主機(jī)系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng)；







原水采用自來水通過增壓泵增壓進(jìn)入石英砂過濾器、活性炭過濾器，去除水中的懸浮物、膠體、有機(jī)物及余氯，配套有絮凝劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng)，可有效降低水中渾濁度，防止反滲透膜的結(jié)垢，提高反滲透膜的使用壽命；

二級(jí)反滲透系統(tǒng)采用美國陶氏反滲透膜技術(shù)，自動(dòng)制膜技術(shù)有效保證每支膜的水處理性能。一級(jí)反滲透采用BW30-400型號(hào)的反滲透膜，該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小，抗污染性能，膜的脫鹽率可以達(dá)到99.7%；二級(jí)反滲透膜采用BW30-365系列膜，該膜廣泛使用二級(jí)反滲透系統(tǒng)中。二級(jí)反滲透出水水質(zhì)電導(dǎo)率可以達(dá)到4微西門子以下；

EDI電除鹽系統(tǒng)采用西門子模塊，EDI作為綠色脫鹽模式，具有以下優(yōu)點(diǎn)：占地面積省、運(yùn)行成本低、系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、安裝維修簡便、綠色環(huán)保，不需要酸堿再生、可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。EDI出水電阻率可以達(dá)到15~17兆歐；

拋光混床系統(tǒng)采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級(jí)樹脂，拋光混床作為制取超純水的核心部件，經(jīng)處理后出水可以達(dá)到18兆歐以上，滿足微電子行業(yè)用水要求；







技術(shù)參數(shù)總表（以15t/h高純水設(shè)備為例）

項(xiàng)目型號(hào)	CL-15T/H型高純水設(shè)備
應(yīng)用行業(yè)	微電子沖洗用水
設(shè)備控制方式	觸摸屏 PLC控制，各液位、壓力連鎖控制，實(shí)現(xiàn)無人值守
產(chǎn)水量	15T/H
進(jìn)水水質(zhì)指標(biāo)	市政自來水，電導(dǎo)率≤1000μS/cm
產(chǎn)水水質(zhì)	電導(dǎo)率≤0.055μS/cm（電阻率≥18MΩ.CM）
反滲透設(shè)備系統(tǒng)脫鹽率	99.7%
自來水損耗	26t/h
進(jìn)水溫度	2~35℃
工作方式	可24小時(shí)運(yùn)行
設(shè)備運(yùn)行質(zhì)量	預(yù)處理部分約30噸二級(jí)反滲透主機(jī)系統(tǒng)約5噸 EDI電除鹽和拋光混床：約4噸
設(shè)備額定功率	約55KW
電源	380V AC 50HZ 三相五線
反滲透系統(tǒng)回收率	50~75%
主機(jī)設(shè)備規(guī)格尺寸	長6000寬2500高2000
廠房建議尺寸（含操作維護(hù)空間）	長19000寬8000高7000
進(jìn)水口徑	DN100 PN1.0法蘭接口
出水口徑	DN65 PN1.0法蘭接口
排污口徑	DN150 PN1.0法蘭接口