用擴散泵和鈦泵并聯(lián)為主泵，擴散泵單獨串聯(lián)前級機械泵的真空系統(tǒng)可以達到極限真空度為1.33×10-6Pa。

真空系統(tǒng)駕駛艙、多功能車間及實驗室防腐真空系統(tǒng)、鋼、鋁除氣用真空系統(tǒng)、涂料涂層工藝用真空系統(tǒng)、化工流程用真空系統(tǒng)、環(huán)境工程用途真空系統(tǒng)、污泥再生工藝用真空系統(tǒng)、特殊真空系統(tǒng)、飲料灌輸工藝用真空系統(tǒng)、氣力及玻璃運輸用真空系統(tǒng)。

啟動系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，真空系統(tǒng)內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。