一.功能描述：
四點(diǎn)探針標(biāo)準(zhǔn)測試方法，采用步進(jìn)系統(tǒng)自動(dòng)控制探頭與樣品接觸，減少人為因素對(duì)測試結(jié)果的影響；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)；測量方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù)、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)測模式或手動(dòng)點(diǎn)測模式，同一位置的重復(fù)測試或多點(diǎn)的面電阻測量，報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析；提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.
FT-3120 系列半自動(dòng)四探針測試儀
二.適用范圍：
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；*電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測量等；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
| FT-3120 系列半自動(dòng)四探針測試儀 |
三.技術(shù)參數(shù)：
| 規(guī)格型號(hào) | FT-3120A | FT-3120B | FT-3120C | FT-3120D |
| 1.電阻 | 10^-3～2×10^4Ω | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω | 10-4～1×107Ω |
| 2.方塊電阻 | 10^-3～2×10^4Ω/□ | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
| 3.電阻率 | 10^-4～2×10^5Ω-cm | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
| 4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，
10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA | |
| 5.電流精度 | ±0.1% | ±2% | ||
| 6.電阻精度 | ≤0.3% | ≤10% | ||
| 7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析：過程數(shù)據(jù)，大、小值，均值，方差，變異系數(shù)，樣品編號(hào)，測試點(diǎn)數(shù)統(tǒng)計(jì)報(bào)表生成等 | |||
| 8.探針范圍： | 探針壓力為100-550g；依據(jù)樣品接觸需要手動(dòng)調(diào)節(jié) | |||
| 9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制 | |||
| 10.可測晶片 尺寸選購
| 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |||
| 11.分析模式 | 自動(dòng)或手動(dòng)單點(diǎn)模式 | |||
| 12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% | |||
| 13.安全防護(hù) | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) | |||
| 14.測試環(huán)境 | 實(shí)驗(yàn)室環(huán)境 | |||
| 15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |||
| 16.選購項(xiàng)目 | 電腦和打印機(jī) | |||
