FT-331四探針方塊電阻測試儀
一.描述:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn):
硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍:
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具;液晶顯示,自動測量和系數(shù)補(bǔ)償,并帶有溫度補(bǔ)償功能,自動轉(zhuǎn)換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數(shù)據(jù),生成報(bào)表
用于:覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試等相關(guān)產(chǎn)品
四.方塊電阻測試儀型號及參數(shù)
規(guī)格型model | FT-331 |
1.方塊電阻范圍Sheet resistance | 10-5~2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6~2×106Ω-cm |
測試電流范圍 | 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.電流精度 | ±0.1%
|
5.電阻精度 | ≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測試方式 | 普通單電測量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W |
9.誤差 | ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) |
10.選購功能 | 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標(biāo)準(zhǔn)電阻. |
11.測試探頭 | 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針 |