日本進口SMC冷水機深冷器溫控器 維修服務，zonglen提供相關維修服務。主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
日本進口SMC冷水機深冷器溫控器 維修服務
半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。
日本進口SMC冷水機深冷器溫控器 維修服務
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制
日本進口SMC冷水機深冷器溫控器 維修服務 應用領域
激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調(diào)、高頻感應加熱設備、X射線（數(shù)字式）設備等
zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
溫度范圍：-20°C~+90°C
控溫精度：±0.1℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
半導體冷熱測試一體機 循環(huán)制冷機chiller
主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
本設備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標制冷量可以達到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達到±0.1℃，使用范圍廣，設定溫度：-20℃~80℃。
半導體冷熱測試一體機 循環(huán)制冷機chiller
應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)
運行穩(wěn)定、準確控溫
半導體冷熱測試一體機 循環(huán)制冷機chiller
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。
可對應溫度穩(wěn)定性（空載時）±0.05℃。
循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
