產(chǎn)品特點
◆ 軌道寬度可調(diào),可選擇同時清洗四種不同寬度的產(chǎn)品。
◆ 片式清洗,清洗效果更明顯。
◆ 單邊上下料結(jié)構(gòu), 無需更換料盒, 清洗后的產(chǎn)品自動回到原來的料盒, 杜絕混批。
◆ 雙清洗托盤, 一個清洗的同時另一個備料,提高生產(chǎn)效率。
◆ 一鍵更換產(chǎn)品,設(shè)備所有參數(shù)及設(shè)置自動加載,無需人工設(shè)定。
◆ 手動清洗與自動清洗均一鍵操作,操作使用更簡單。
◆ 產(chǎn)品安全多重設(shè)計,確保不會造成產(chǎn)品變形損壞。
◆ 四條通道每個地方獨立檢測,準確判斷問題所在。
◆ 設(shè)備安全多重設(shè)計,確保人身安全。
◆ 模塊化設(shè)計,國際品牌配置,確保設(shè)備穩(wěn)定運行。
技術(shù)參數(shù)
電源系統(tǒng) | 射頻電源 | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | |
真空系統(tǒng) | 真空管路 | 全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管 |
材質(zhì) | 鋁合金 | |
密封性 | 一體成型 | |
腔體體積 | 9.6L | |
腔體尺寸 | 550*350*50 | |
適用產(chǎn)品尺寸 | 180-280mm*25-90mm( 長 x 寬) | |
適用料盒尺寸 | 180-290mm*25-93X250mm( 長 X 寬 X 高 ) | |
通道數(shù)量 | 標準 4 條 ( 可定制 ) | |
電極板大小 | 520x320mm |
等離子激發(fā)時間 | 等離子激發(fā)清洗時間 | 5Sec |
產(chǎn)量 | UPH | 480( 蛇皮時間 10S,4 條流道時 ) |
清洗能力 | 水滴角 | 水滴角測試 <12° |
流量范圍 | 0-300Sccm | |
工藝氣體 | 標配 2 路,可定制氬氣:3bars 1L/min 氮氣:3bars 1L/min | |
其它參數(shù) | 電源 | AC 380V 5.5KW |
外形尺寸 | 1920X1120x2170mm |