KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。
混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應物的活性，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）。
設備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、裝飾等領域。
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工具有極低的熱膨脹系數、耐高溫、化學穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內膽爐殼，配有風冷系統(tǒng)，快速升降溫整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
法蘭采用雙環(huán)密封技術有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
內嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長加熱元件采用優(yōu)質內嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。
微電腦PID控制器，操作簡便操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現自動控制和運行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。
真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組，性能可靠：整體型復合轉子，強度高、性能穩(wěn)定；
潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染。
| 管式爐系統(tǒng) | |
爐管尺寸 | 直徑60mm |
加熱區(qū)長度 | 440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
正常工作溫度 | 1100℃ |
工作溫度 | 1200℃ |
| 加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 |
| 爐膛材質 | 采用日本進口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強 |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
| 真空系統(tǒng) | |
| 高真空分子泵組，高真空復合真空計 前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接 | |
質子流量計 | |
高精度質量流量計可準確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500ＳＣＣｍ 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計管道，標準雙卡套接頭 | |
射頻電源系統(tǒng) | |
輸出功率 | 50-500W可調±1% |
RF頻率 | 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% |
噪聲 | ≤55DB |
冷卻 | 風冷 |
輸入功率 | 1KW AC 220V |
提供相關配件 | 氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞 |
| 電氣認證 | CE認證 |
| 售后服務 | 12個月質保、終身保修 |
可選配件：
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質子流量計×1 | 真空系統(tǒng)×1 | 射頻電源×1 |
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| 氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
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| 高溫手套×1 | 坩堝鉗×1 | 熱電偶×1 |
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| 剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |
注：爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型
可選配件：
液晶觸摸控制儀
1．實現烤箱/電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
4．現場操作人員需要調用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發(fā)生。
5．具備多組歷史數據記錄功能。
6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。
全自動智能型水冷機
1.制冷量達1800W，可選用環(huán)保冷媒；
2.溫控精度可達±0.3℃；
3.智能溫控器具有兩種溫控模式，適用于不同的使用場合；
有多種設定和故障顯示功能；
4.具有多種報警保護功能：壓縮機延時保護；壓縮機過流
保護；水流報警；溫度超高/低報警；
5.多國電源規(guī)格，CE、RoHS認證；
6.長壽耐用，操作簡便；
7.可選配加熱器和凈化水質配置。
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
