六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐，等離子射頻電源，分子泵高真空，六通道氣路等組成的等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。
使用范圍：
該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。也可可應(yīng)用于納米材料生長，石墨烯生成、金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜等各種薄膜等，可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 六通道高真空PECVD系統(tǒng)(CE認(rèn)證) |
| 管式爐部分 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S60-6ZH-PE |
| 爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
| 爐管材質(zhì) | 石英管 |
| 加熱區(qū) | 400mm |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | K型熱電偶 |
| 控制方式 | 30段可編程序控溫 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
| 升溫速率 | 0-20ºC/min ，建議10ºC/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制） |
| 加熱功率 | 3KW |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。 |
| 選配 | 輔助降溫風(fēng)扇 |
| 真空系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 真空系統(tǒng) |
| 主要參數(shù) | 1.采用高真空分子泵組，極限真空度可達(dá)10-3pa 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3.數(shù)字式真空顯示，其測量范圍為5×10-5- 1500mbar，測量精度高高 |
| 氣路系統(tǒng)部分 | |
| 名稱 | 六路質(zhì)量流量計 |
| 主要參數(shù) | 六通道精密質(zhì)量流量計：觸屏控制，數(shù)字顯示，自動控制。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC6：0-1000sccm可調(diào) 2.一個混氣罐 3.6個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制6種氣體； 4.進(jìn)出氣口：6進(jìn)1出 流量控制：手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式：雙卡套連接 |
| 等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調(diào)） |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 工作模式 | 連續(xù)輸出 |
| 射頻輸出阻抗接口 | N-type,female（50Ω） |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤2W |
| 反射功率 | 70W |
| 電源保護(hù)設(shè)置 | DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
| 供電電壓/頻率 | 單相交流（187V-253V）50-60HZ |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 整機尺寸 | 88X483X550 MM |
| 整機重量 | 13.5KG |
| 認(rèn)證 | *、CE認(rèn)證 |
| 售后服務(wù) | 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
| 更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制 | |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
