管式真空爐是在原有管式爐的基礎(chǔ)上，增加真空系統(tǒng)，得到高潔凈腔體，提供清潔無雜質(zhì)的高真空狀態(tài)，加熱溫度均勻且能夠精確控制，特別適用于半導(dǎo)體器件或其他對環(huán)境要求高的材料的退火工藝，工件質(zhì)量優(yōu)良，成品率高。
設(shè)備特點(diǎn)：
1、外形美觀，占地面積小
2、采用高精度、多功能溫控儀，可自動調(diào)節(jié)與修改PID參數(shù)，存儲控溫曲線并可隨時修改、刪除以及重新設(shè)定，操作簡單方便
3、具備多項(xiàng)故障顯示，報警及連鎖保護(hù)功能
4、爐體可以移動推拉,以加速低溫段的降溫
應(yīng)用范圍：
用于陶瓷電路、傳感器燒結(jié)及退火處理、永磁合金制造、真空釬焊、真空除氣、金屬材料的無氧化光亮熱處理等工藝。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 管式真空爐 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1100-LZ-1R |
| 溫度 | 1100℃ |
| 工作溫度 | 1000℃ |
| 物料尺寸 | 2~8英寸圓片或方片 |
| 恒溫區(qū)長度 | 400~800mm |
| 恒溫區(qū)精度 | ≤±0.5℃（600～1000℃）,≤±1℃（300～600℃） |
| 升溫速率 | 10℃/min |
| 極限真空度 | ≤5×10-3Pa |
| 氣路系統(tǒng) | 氧氣、氮?dú)狻鍤?/td> |
| 更多參數(shù)要求可根據(jù)要求來定制 | |
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