產(chǎn)品介紹：
該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門(mén)和壓力表，真空泵接口，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
結(jié)構(gòu)組成：
定制流化床CVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。
應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱(chēng) | 流化床CVD系統(tǒng) |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-CVD-DZ |
立式管式爐 | |
爐膛模式 | 立式開(kāi)啟式 |
爐膛材料 | 進(jìn)口氧化鋁耐火纖維 |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)硅碳棒 |
極限溫度 | 1400℃ |
工作溫度 | ≤1300℃ |
升溫速率 | ≤20℃(建議:15℃/min) |
加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、多溫區(qū) |
溫區(qū)總長(zhǎng)度 | 200、300、440 |
爐管材質(zhì) | 高純石英管、剛玉管 |
爐管直徑 | 40、50、60、80、100mm...... |
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) |
控制模式 | 多段智能PID程序控溫 預(yù)留通訊接口 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫度曲線 | 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè) |
測(cè)溫元件 | K型熱電偶 |
氣路系統(tǒng) | |
工作電壓 | 220V/50HZ |
輸出功率 | 18W |
工作溫度 | 5--45℃ |
氣體通道 | 可同時(shí)連接多種氣源 |
流 量 計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
A路量程 | 0～500SCCM |
B路量程 | 0～500SCCM |
C路量程 | 0～500SCCM |
..... | ..... |
氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
數(shù)顯真空計(jì)及連接件 | |
數(shù)顯真空計(jì) | 數(shù)顯真空計(jì)安裝在不銹鋼法蘭上 |
真空泵組(相關(guān)連接配件) | |
真空泵 | 真空泵,及相應(yīng)連接管件 220V/50HZ |
認(rèn)證 | *、CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類(lèi)：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
