一、微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備概述

　　微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備顧名思義主要應(yīng)用于微電子生產(chǎn)領(lǐng)域，微電子是繼集成電路而發(fā)展起來的一門新型技術(shù)，微電子是一種高度精密的技術(shù)，因此生產(chǎn)過程對于用水要求相對嚴(yán)格。微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備采用的制水技術(shù)，保證設(shè)備的出水水質(zhì)符合行業(yè)用水。

　　二、微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程

　　工藝大致分成以下3種：

　　1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

　　3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)

　　三、微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝比較

　　目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：

　　1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

　　2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

　　3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

　　四、微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域

　　1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

　　2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水。

　　3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水。

　　4、汽車、家電表面拋光處理。

　　5、光電子產(chǎn)品。

　　6、其他高科技精微產(chǎn)品。

　　以上是微電子生產(chǎn)用超純水設(shè)備的簡單介紹。萊特萊德上海水處理設(shè)備公司是一家專業(yè)生從事水處理設(shè)備設(shè)計(jì)、制造、銷售和服務(wù)的高科技企業(yè)，憑借著高質(zhì)量的產(chǎn)品，良好的信譽(yù)，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，產(chǎn)品近三十多個(gè)省、市、自治區(qū)。萊特萊德上海水處理設(shè)備公司將一如既往，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、竭誠的服務(wù)，與新老客戶攜手進(jìn)步，共同發(fā)展，共創(chuàng)美好明天。