拋光混床超純水設(shè)備又可稱之為電子級高純水設(shè)備或者深度脫鹽水設(shè)備。具體組成是自來水由原水儲水箱通過原水增壓泵送入砂過濾器，砂過濾器出水再進入活性炭過濾器，再進入精密過濾器，精密過濾器出水滿足進二級RO主機要求，進入二級反滲透系統(tǒng)，二級反滲透設(shè)備出來的脫鹽純水再進入EDI系統(tǒng)，EDI出來再進入電子級拋光混床系統(tǒng)，出來即是超純水。

　　拋光混床超純水設(shè)備工藝流程如下

　　自來水→原水箱→原水泵→砂過濾器→碳過濾器→精密過濾器→中間水箱→一級高壓泵→一級RO組件→中間水箱→二級高壓泵→二級RO組件→純水箱→EDI送水泵→濃水回流原水箱→EDI裝置→純水箱→純水輸送泵→拋光混床→用水點

　　拋光混床超純水設(shè)備由下列三大部分組成

　　采用美國通用公司GE膜堆各種進口儀表組裝而成，進一步對RO純水(電導率小于3μs/cm)進行脫鹽處理。它具有技術(shù)、操作簡便和良好的環(huán)保特性，無需酸堿而能連續(xù)制取高品質(zhì)純水，出水電阻率穩(wěn)定在15MΩ.cm以上。

　　DI裝置由3臺EDI膜堆和1臺高頻開關(guān)電源構(gòu)成，設(shè)有缺水保護。整機有漏電保護，安全可靠。

　　EDI系統(tǒng)配置一套化學清洗系統(tǒng)。主要用途是在EDI膜堆被污染時，用來對EDI系統(tǒng)進行化學清洗，化學清洗裝置與RO清洗裝置共用。

　　拋光混床超純水設(shè)備、電子行業(yè)超純水設(shè)備以滿足需要用水水質(zhì)及水量的要求，包括：砂過濾系統(tǒng)、碳過濾系統(tǒng)、反滲透(RO)脫鹽系統(tǒng)、EDI電再生除鹽系統(tǒng)、計量加藥系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和其它輔助系統(tǒng)設(shè)備。系統(tǒng)包括設(shè)備、閥門、管道、附件及各單元控制設(shè)備、儀表及附件等。整個水處理系統(tǒng)的各設(shè)備間采用聯(lián)鎖保護，有利于純水設(shè)備的安全運行。