透射電子顯微鏡是的提供在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。透射電子顯微鏡加熱與電學(xué)芯片系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測量芯片。微加熱芯片可對樣品進(jìn)行可控溫度的加熱,電學(xué)測量芯片可對樣品進(jìn)行電性質(zhì)測量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測量的同時,動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進(jìn)行綜合表征,極大拓展了透射電鏡的功能和應(yīng)用范圍。
本系統(tǒng)硬件包含兩部分:加熱和電學(xué)測量控制器及原位芯片樣品桿。軟件系統(tǒng)包括自動控溫軟件和自動電學(xué)測量軟件。
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