Pfeiffer 高壓質譜分析儀 HPA 220
上海伯東銷售維修德國普發(fā)高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220，可協(xié)助客戶選型并提供售后服務。質譜分析儀新款上市，適合于所有的應用特別是高壓應用。
德國普發(fā)高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 組成：
l 四級質譜分析儀
l 手動或自動控制進樣閥門
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級泵 MVP 020-3
l 標準真空腔體
l 全量程真空計 PKR 251
l 閥門控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體：Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz
可選的附加組件：
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規(guī)
德國普發(fā)高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 優(yōu)點：
l 此款質譜分析儀操作組裝靈活，適用各種壓力范圍
l 簡單的系統(tǒng)集成 模組式組裝
l 高靈敏度 多路傳輸操作
l 操作直觀 提供廣泛的應用
德國普發(fā)高壓質譜分析儀 Pfeiffer HPA 220 應用行業(yè)：
在一個壓力范圍內（1 x 10-7到50 hPa）進行過程分析、監(jiān)控
1.真空鍍膜行業(yè) 2.半導體行業(yè) 3.光刻行業(yè) 4.冶金行業(yè) 5.真空爐 6.實驗研究
質譜分析儀 技術參數：
| 質量數（可選） | 1-100 amu | 1-200 amu | 1-300 amu | |||
| 質譜分析儀 | QMA 220 | |||||
| 前級泵 | MVP 020-3 | |||||
| 電源線長度（可選） | 3m | 10m | ||||
| 檢測 | C-SEM/Faraday | |||||
| C-SEM 最小檢測極限 | 1X10-14 hPa | |||||
| Faraday 最小檢測極限 | 5X10-12 hPa | |||||
| 壓縮空氣 | 5-7 bar | |||||
| 進氣法蘭 | DN 40 CF-F | |||||
| 工作壓力（可選） | 1 hPa | 8hpa | 50hpa | |||
| 四級桿直徑/長度 | 6 mm/ 100 mm | |||||
| C-SEM 精度 | 200 A/hPa | |||||
| Faraday 精度 | 5X10-4 A/hPa | |||||
| 電源 | 115-230 V | |||||
| 重量 | 15 kg | |||||
質譜分析儀 尺寸圖：
質譜分析儀 訂購選型：
