| 技術(shù)參數(shù) | |||||
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| 結(jié)構(gòu)＆特點 |
● 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品 ● 安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻 ● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，MAX溫度可達到1500℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品 ● 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ● 氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性
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基本參數(shù) |
● 溫度：MAX1500℃ （1200℃以上＜1h） ● 建議升溫速率：≤20℃/ min （需根據(jù)工藝調(diào)整） ● 熱偶：B型或者S型熱偶 ● 電源：AC220V，50Hz 大6KW
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溫控及加熱源 |
● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1） ● 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃） ● 可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃） ● 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2） ● 溫度控制器的時間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝（如圖4圖5）
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5
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樣品臺 |
● 儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時間 ● 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性 ● 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm
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進氣口 |
● 進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 ● 進氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量
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可選 |
● 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4（圖一） ● 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝（圖二圖三）
圖1 圖2 圖3
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| 真空計（可選） |
● 可選購一數(shù)顯防腐真空計，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr
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| 膜厚檢測儀（可選） |
● 可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å （圖一） ● LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)（圖二） ● 同時可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD（圖三）
圖1 圖2 圖3
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| 真空系統(tǒng)（選配） |
● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 ● 采用渦旋分子泵真空可達1.0E-5Torr，極限真空度可達4.0E-6Torr ● 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr ● 真空度達到10-2torr時，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機材料，可選購數(shù)顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) ● 高真空度可達1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計（可測量真空度為1.0E-7Torr） ● 可在本公司選購各種真空泵和真空計 ● 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染
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| 外形尺寸 |
● 490mm*330mm*560mm | ||||
| 質(zhì)量認證 | ● 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。
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| 質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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| 使用提示 |
● 為了獲得高真空度，可采用以下做法 （1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗 （2）抽真空時，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時 ● 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6（點擊下圖查看詳情）
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| 使用注意事項 |
● 使用溫度高于1300℃時，保溫時間不可大于1小時，否則會損壞密封圈 ● 當腔體的各閥門關(guān)閉時，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱 ● 當儀器正在蒸發(fā)材料時，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當加熱溫度降至100℃時，才可放氣或關(guān)閉真空泵 ● 蒸鍍電流不宜大于40A ● 如誤將控溫儀表設(shè)為手動狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\行 ● 此設(shè)備儀表程序為秒，200℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S 如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀，在選用取樣片時請按：鍍純金屬時用金取樣片，鍍合金時用銀取樣片 ● 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會被氧化） | ||||
GSL-1700X-SPC-2 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
| 參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
- 品 牌
- 型 號
- 所 在 地
- 廠商性質(zhì)其他
- 更新時間2023/1/12 9:36:00
- 訪問次數(shù)340
深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè)，長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務(wù)平臺，為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟，目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，精心為科學(xué)家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品，產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實驗設(shè)備的開發(fā)，經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者，產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列：按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實驗裝備（包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等）； ? 電池研發(fā)實驗制備裝備（包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案）； ? 電池安全測試裝備（符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標準等）； ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案，交鑰匙工程（包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案）； ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備（包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案）； ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備； ? 功能薄膜研發(fā)實驗設(shè)備（包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等）； ? 高通量材料基因組實驗設(shè)備（包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等）； 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實驗室和設(shè)備體驗中心。對于鋰電池行業(yè)，可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā)，能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈，針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實用新型共40多項（包含PCT和國內(nèi)發(fā)明），并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨，深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時，深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗平臺，承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗，配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備，縮短調(diào)研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù)，協(xié)助細分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝，從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)。縱觀人類科技的發(fā)展歷史，新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇，而*的實驗裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護航的重要保障?？凭F隊將一如既往秉承“客戶為本，技術(shù)為導(dǎo)，誠信為基，積極創(chuàng)新”的運營理念 ，竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻。
封口設(shè)備
GSL-1700X-SPC-2 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀 產(chǎn)品信息
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