一、概述
用途：本設(shè)備主要用于腔體抽真空
規(guī)格：a、結(jié)構(gòu)形式：方管機(jī)構(gòu)；
B：極限真空度：優(yōu)于2×10-4Pa
C：操作方式：手動(dòng)；
D：冷卻方式：水冷；
e：總功率：2kw；
F：輸入電壓：AC220V±10%
二、操作步驟說明
1.插上外接電源線，放開急停按鈕，按下電源啟停開關(guān)
2.機(jī)組啟動(dòng)：a、（全手動(dòng)）先按下機(jī)械泵啟動(dòng)按鈕，機(jī)械泵開始運(yùn)行。當(dāng)真空度優(yōu)于10pa后，在按下分子泵啟動(dòng)按鈕，分子泵開始運(yùn)行。
B、（半自動(dòng)）先按下分子泵啟動(dòng)按鈕，再按下機(jī)械泵啟動(dòng)按鈕，機(jī)械泵開始運(yùn)行。待真空度優(yōu)于10pa后，分子泵會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)。
備注: b1.分子泵和機(jī)械泵、復(fù)合真空計(jì)之間有連鎖關(guān)系，所以分子泵啟 動(dòng)必須具備以下關(guān)系才能啟動(dòng): a:機(jī)械泵按鈕按下; b:真空度優(yōu)于10Pa,以上兩個(gè)條件缺一不可。 b2、 機(jī)組運(yùn)行過程中，真空計(jì)電源不能斷掉，否則分子泵無法運(yùn)行
3、機(jī)組停止:按下分子泵啟停按鈕，分子泵開始停止工作，分子泵電源顯示屏上顯示的轉(zhuǎn)速逐漸降低。當(dāng)分子泵電源顯示屏上的轉(zhuǎn)速變?yōu)?/span>0后，關(guān)閉機(jī)械泵按鈕。
4、最后關(guān)閉電源啟停按鈕，按下急停按鈕
三.安全保護(hù)裝置及事故處理
安全保護(hù)裝置:電源安全保護(hù)裝置;
注意事項(xiàng):
1. 開機(jī)之前確保電源、 冷卻水供應(yīng)正常:
2. 設(shè)備運(yùn)行過程中，經(jīng)常檢查機(jī)械泵、分子泵運(yùn)行是否正常。
設(shè)備故障應(yīng)急處理
1. 如遇設(shè)備異常請及時(shí)請專業(yè)的電氣、機(jī)械維修人員進(jìn)行維修;
四.設(shè)備保養(yǎng)及維護(hù)
真空管道的維護(hù)
1. 抽氣管道每年應(yīng)清理一次。
長期停產(chǎn)時(shí)的維護(hù)和保養(yǎng)
1如果停產(chǎn)， 設(shè)備長期不使用也應(yīng)對設(shè)備作必要的維護(hù)，
2.抽真空除盡爐體內(nèi)潮氣，然后充入氨氣至常壓:
3.對電氣部件每隔三個(gè)月進(jìn)行一次通電，每次通電一小時(shí)左右。
五.設(shè)備運(yùn)輸及貯存
運(yùn)輸注意事項(xiàng)
本設(shè)備搬運(yùn)時(shí)不得顛倒、側(cè)放或碰撞，以避免損壞設(shè)備。
貯存條件、期限及注意事項(xiàng)
1. 用戶如暫不使用設(shè)備，請不要打開包裝箱，應(yīng)妥善存放在相對濕度不超過90%和通風(fēng)良好的場所，不得顛倒和側(cè)放，其貯存期應(yīng)不大于六個(gè)月。
2.注:不得露天
