一、概述

用途：本設(shè)備主要用于腔體抽真空

規(guī)格：a、結(jié)構(gòu)形式：方管機構(gòu)；

      B：極限真空度：優(yōu)于2×10-4Pa

      C：操作方式：手動；

      D：冷卻方式：水冷；

      e：總功率：2kw；

      F：輸入電壓：AC220V±10%

二、操作步驟說明

1.插上外接電源線，放開急停按鈕，按下電源啟停開關(guān)

2.機組啟動：a、（全手動）先按下機械泵啟動按鈕，機械泵開始運行。當(dāng)真空度優(yōu)于10pa后，在按下分子泵啟動按鈕，分子泵開始運行。

B、（半自動）先按下分子泵啟動按鈕，再按下機械泵啟動按鈕，機械泵開始運行。待真空度優(yōu)于10pa后，分子泵會自動啟動。

備注: b1.分子泵和機械泵、復(fù)合真空計之間有連鎖關(guān)系，所以分子泵啟 動必須具備以下關(guān)系才能啟動: a:機械泵按鈕按下; b:真空度優(yōu)于10Pa,以上兩個條件缺一不可。 b2、 機組運行過程中，真空計電源不能斷掉，否則分子泵無法運行

3、機組停止:按下分子泵啟停按鈕，分子泵開始停止工作，分子泵電源顯示屏上顯示的轉(zhuǎn)速逐漸降低。當(dāng)分子泵電源顯示屏上的轉(zhuǎn)速變?yōu)?/span>0后，關(guān)閉機械泵按鈕。

4、最后關(guān)閉電源啟停按鈕，按下急停按鈕

三.安全保護裝置及事故處理

安全保護裝置:電源安全保護裝置;

注意事項:

1. 開機之前確保電源、 冷卻水供應(yīng)正常:

2. 設(shè)備運行過程中，經(jīng)常檢查機械泵、分子泵運行是否正常。

設(shè)備故障應(yīng)急處理

1. 如遇設(shè)備異常請及時請專業(yè)的電氣、機械維修人員進行維修;

四.設(shè)備保養(yǎng)及維護

真空管道的維護

1. 抽氣管道每年應(yīng)清理一次。

長期停產(chǎn)時的維護和保養(yǎng)

1如果停產(chǎn)， 設(shè)備長期不使用也應(yīng)對設(shè)備作必要的維護，

2.抽真空除盡爐體內(nèi)潮氣，然后充入氨氣至常壓:

3.對電氣部件每隔三個月進行一次通電，每次通電一小時左右。

五.設(shè)備運輸及貯存

運輸注意事項

本設(shè)備搬運時不得顛倒、側(cè)放或碰撞，以避免損壞設(shè)備。

貯存條件、期限及注意事項

1. 用戶如暫不使用設(shè)備，請不要打開包裝箱，應(yīng)妥善存放在相對濕度不超過90%和通風(fēng)良好的場所，不得顛倒和側(cè)放，其貯存期應(yīng)不大于六個月。

2.注:不得露天