無塵真空烘箱在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，光刻是集成電路圖案轉(zhuǎn)移的重要過程環(huán)節(jié)。涂膠的質(zhì)量直接影響光刻的質(zhì)量，涂膠過程也特別重要。在光致抗蝕劑涂覆過程中，大多數(shù)光致抗蝕劑是疏水的，而硅晶片表面上的羥基和殘留的水分子是親水的，這導(dǎo)致光致抗蝕劑和硅晶片之間，尤其是正膠之間的粘附性較差。在顯影過程中，顯影劑將侵入光致抗蝕劑和硅晶片之間的連接，這很容易引起漂白，浮膠等，從而導(dǎo)致光刻圖案轉(zhuǎn)印失敗，并且濕法蝕刻容易發(fā)生橫向腐蝕。增粘劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種情況。
 

無塵真空烘箱【特點(diǎn)】

　　1.機(jī)器外殼為不銹鋼SUS304，內(nèi)膽為316L不銹鋼。加熱器均勻地分布在內(nèi)膽的外壁上，內(nèi)膽中沒有電氣附件以及易燃易爆裝置。堅(jiān)固的雙層玻璃門使您可以一目了然地觀察工作室中的物體。
　　2.烘箱門的密封性可以調(diào)節(jié)，一體成型的硅橡膠門密封圈確保烘箱內(nèi)的高真空。
　　3，微電腦智能溫控儀具有設(shè)定，測溫，雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，對(duì)熱風(fēng)循環(huán)爐的溫度控制準(zhǔn)確可靠。
　　4.智能觸摸屏控制系統(tǒng)配有日本三菱PLC模塊，用戶可以根據(jù)不同的工藝條件更改程序，溫度，真空度和每個(gè)程序時(shí)間。
　　5. HMDS氣體被密封并自動(dòng)吸入和添加，真空箱具有良好的密真空烤箱不加熱封性能，確保了HMDS氣體的泄漏。
　　6.整個(gè)系統(tǒng)由優(yōu)質(zhì)材料制成，無粉塵產(chǎn)生，適用于100級(jí)光刻室凈化環(huán)境。
 

擁有多重超溫保護(hù)系統(tǒng)

1. 溫控器停止加熱，無加熱信號(hào)輸出。
2. 加熱系統(tǒng)電路的交流接觸器會(huì)跳掉，停止加熱管供電。
3. 擁有單套溫度監(jiān)控傳感器(獨(dú)立限溫保護(hù)器），監(jiān)控烘箱工作室溫度，當(dāng)?shù)竭_(dá)警戒值，會(huì)強(qiáng)行關(guān)閉加熱系統(tǒng)。

擁有多重電器保護(hù)結(jié)構(gòu)和特點(diǎn)

1.長方體工作室，使有效容積達(dá)到，微電腦溫度控制器，控溫精確可靠。
2. 鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體，一目了然，可向內(nèi)部充入惰性氣體。
3.箱門閉合鬆緊可調(diào)節(jié)，一體成型的矽橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
4.工作室採用不銹鋼板材料製成，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用，便於清潔。
5.儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和乾燥可在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境裏進(jìn)行，不會(huì)導(dǎo)致氧化。
6.縮短乾燥時(shí)間，與傳統(tǒng)真空乾燥箱相比，乾燥時(shí)間減少50%以上。

精準(zhǔn)控時(shí)功能

采用進(jìn)口HM品牌數(shù)字顯示溫度控制器雙屏高亮度寬視窗數(shù)字顯示，示值清晰、直觀。微電腦智能控制，設(shè)定溫度后，儀表自行控制加熱功率，并顯示加熱狀態(tài)，控溫精確而穩(wěn)定。超溫報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱電源。有定時(shí)功能，定時(shí)時(shí)間zui長達(dá)9999分鐘。
安全保護(hù)系統(tǒng)：超溫報(bào)警，欠相缺相保護(hù)，過電流保護(hù)，快速熔斷器，接地保護(hù)。

箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
采用進(jìn)口六通道溫度記錄儀，彩色屏幕實(shí)時(shí)精準(zhǔn)顯示箱體內(nèi)部6點(diǎn)溫度及曲線，便于監(jiān)控箱內(nèi)溫度；自動(dòng)存儲(chǔ)溫度數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)追溯，在線讀取，支持U盤導(dǎo)出功能。

迴圈程式控制功能：
人性化的操作介面和編程程式，節(jié)約了客戶時(shí)間，保證可靠的加熱或乾燥工藝，可以在操作介面直接編程，可預(yù)設(shè)7段63步可編程式，每段設(shè)置時(shí)間1-99小時(shí)59分，可預(yù)置和關(guān)機(jī)時(shí)間。
真空度控制：真空乾燥箱採用數(shù)位技術(shù)控制真空度，“手動(dòng)控制”早已成為歷史，您還認(rèn)為在21世紀(jì)的今天手動(dòng)真空烤箱不加熱杠桿操作的閥門可以精確控制真空度嗎？通過數(shù)顯真空計(jì)自動(dòng)控制真空度，為您提供更加精確有效的真空度控制。通過面板，可方便地將真空度控制在10~10 5 Pa(達(dá)到真空度133Pa)的範(fàn)圍內(nèi)的任何兩路點(diǎn)間或區(qū)域，控制精度為±1%。真空計(jì)採用了電阻矽管壓力感測器，從而保證了穩(wěn)定的壓力值真空烤箱不加熱，不受氣流的影響，把穩(wěn)定的壓力值傳給真空計(jì)LED顯示幕上。
溫度控制優(yōu)勢：
具有7段63步溫度可編程功能：具有傳統(tǒng)程式控制模式，還可以設(shè)置溫度、恒溫時(shí)間，含義為“溫度~該溫度恒溫時(shí)間”，BPZ-LC更包含斜率模式程式控制，要用“溫度—時(shí)間—溫度”格式定義：從某溫度升或降真空烤箱不加熱到另一溫度所需要的時(shí)間，從而精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)升或降溫過程的速率控制。從而使你在整個(gè)溫度實(shí)驗(yàn)中，不論升溫、恒溫或降溫每一個(gè)過程都實(shí)現(xiàn)可控。?

 
 

　　一、 本公司提供的售后服務(wù)方式
 
　　1. 咨詢服務(wù)：用戶在使用過程中遇到任何問題，均可致電免費(fèi)： 咨詢或發(fā)送郵件（1013957606）給我們。
 
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　　3. 維修服務(wù)：維修期內(nèi)的產(chǎn)品,若出現(xiàn)質(zhì)量問題，*免費(fèi)保修。
 
　　二、 用戶自購買日起，在正常使用情況下產(chǎn)品若出現(xiàn)質(zhì)量問題：
 
　　1. 一年內(nèi)免費(fèi)保修，提供技術(shù)支持。
 
　　2. 部件損壞免費(fèi)保修一年，超過一年的酌情收取工本費(fèi)用。
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　　2. 保修服務(wù)只限于一般使用下有效：一切人為損壞(例如用戶自行拆機(jī)、進(jìn)行不適當(dāng)?shù)倪B接使用、接入不適當(dāng)電壓的電源、未依說明書使用等)、自然災(zāi)害等不可抗力、非經(jīng)本公司認(rèn)可之維修和改裝等均不在免費(fèi)保修范圍內(nèi);維修服務(wù)適當(dāng)收費(fèi)。