LED外延空氣過濾器濾芯技術(shù),在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用?,F(xiàn)有MOCVD設(shè)備
的成本非常高,且*依賴進口,進行MOCVD設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源
領(lǐng)域以及國防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以
及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設(shè)計,包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難
點,并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。
氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng),
并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng),
反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜,而且避免MO源的壁面沉積
)對氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃。基于安全考慮,設(shè)備需
要定期進行泄漏檢查。
由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆,雨其中的氫化物源又,因此,必須對反應(yīng)過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒




生產(chǎn)VEECO以及AIXTRON公司MOCVD設(shè)備尾氣處理用顆粒過濾器,從原材料到成品層層把關(guān),從而提升產(chǎn)品的質(zhì)量。美國進口濾材過濾器的使用壽命以及對于后端真空泵及管路的清潔,而且在高溫環(huán)境下可長期使用,不會產(chǎn)生燃燒等意外。
生產(chǎn)供應(yīng)美國VEECO,德國AIXTRON公司各型號MOCVD設(shè)備用過濾器,型號,質(zhì)量,可有效過濾精度及效率,從而達到保護設(shè)備以及環(huán)保的雙重目的
AIXTRON HEPA 濾芯,AIXTRON exhaust 濾芯,AIXTRON particle 濾芯,Thomas Swan濾芯,供應(yīng)的VEECO公司MOCVD設(shè)備K-465,K465i,E-300 機型的濾芯,光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯 外延設(shè)備濾芯 纖維折疊濾芯。LED設(shè)備用各類過濾器,型號,質(zhì)量,可有效保護設(shè)備安全。
采用304不銹鋼材質(zhì)、進口玻璃纖維,耐高溫性好,抗酸堿。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
1. 價格優(yōu)勢
2. 的過濾雜質(zhì)能力,過濾精度高,使用壽命長。
3. 產(chǎn)品性能優(yōu)勢經(jīng)客戶驗證和認(rèn)可
4. 可根據(jù)客戶要求設(shè)計,訂做。(調(diào)整:尺寸,使用材料,整體構(gòu)造等)為客戶產(chǎn)品打造合適的濾芯,確保各種過濾要求,達到佳過濾效果。
光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯 外延設(shè)備濾芯 纖維折疊濾芯 光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯 外延設(shè)備濾芯 纖維折疊濾芯 光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯 外延設(shè)備濾芯 纖維折疊濾芯 光電設(shè)備濾芯 G5除塵濾芯 外延設(shè)備濾芯 纖維折疊濾芯
LED外延空氣過濾器濾芯
LED外延空氣過濾器濾芯
LED外延空氣過濾器濾芯
LED外延空氣過濾器濾芯
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LED外延空氣過濾器濾芯技術(shù),在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用?,F(xiàn)有MOCVD設(shè)備
的成本非常高,且*依賴進口,進行MOCVD設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源
領(lǐng)域以及國防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
LED外延空氣過濾器濾芯技術(shù),在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用?,F(xiàn)有MOCVD設(shè)備
的成本非常高,且*依賴進口,進行MOCVD設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源
領(lǐng)域以及國防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
LED外延空氣過濾器濾芯技術(shù),在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用?,F(xiàn)有MOCVD設(shè)備
的成本非常高,且*依賴進口,進行MOCVD設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源
領(lǐng)域以及國防技術(shù)的發(fā)展都很有必要。