生產(chǎn)設(shè)備 Tetra 2800-LF-PC 具有 2,800 升的真空容積,并配有 PC 控制系統(tǒng),可用于批量生產(chǎn)(清洗、蝕刻和活化):
技術(shù)參數(shù)
開關(guān)柜:
寬 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室:
∅ 1200 mm、深 2500 mm
腔室容積:
約 2800 升
氣源:
3 個由 MFCs 控制的氣體通道
發(fā)生器:
1 件 (40 kHz)
(可選: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系統(tǒng):
配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)