簡(jiǎn)介:
聚對(duì)二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里綸(Parylene),是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱,它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性,主要有 Parylene N(聚對(duì)二甲苯)、Parylene C(聚一氯對(duì)二甲苯)和 Parylene D(聚二氯對(duì)二甲苯)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備,可制成極薄的薄膜,主要用作薄膜和涂層,用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。
工作原理:
將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基,再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合,得到均勻致密的聚對(duì)二甲苯薄膜。
Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于:
電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機(jī)和鐵氧體;
在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲(chǔ)和記錄器件;
在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;
在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護(hù)。
Diener P300聚對(duì)二甲苯涂沉系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
涂層材料;聚對(duì)二甲苯 N,C,D
涂層厚度:0.05~100μm
加熱爐:4kW/Max.700℃
涂層腔體尺寸:D700*H720mm
Gas injection:homogenous dispersal system
Carrousel:Dia.600mm*H600mm
Pumping system:two-stage rotary vane suction power 65m3/h
Ultimate pressure:1*10-3mbar
Contral:Full PC based contral system on Windows-based
Compressed air:6bars oil free and dry
Exhaust:40mm tube
Dimensions:W2700*D2200*1600mm
Connections:3phase/400V/16A/50,60Hz