半導(dǎo)體生產(chǎn)專用純水設(shè)備
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設(shè)備型號
YB-CJS-030 -
產(chǎn)水量
30T/H -
適用范圍
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;4、汽車、家電表面拋光處理;5、光電子產(chǎn)品;6、其他高科技精微產(chǎn)品。
產(chǎn)品介紹
硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力?？茖W(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導(dǎo)體的發(fā)展。自動化和計算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，甚至悄悄進(jìn)入每一個家庭。
工藝設(shè)計
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設(shè)備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點(diǎn)
設(shè)備特點(diǎn)
1、連續(xù)運(yùn)行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。
2、系統(tǒng)運(yùn)行可靠性穩(wěn)定。
3、運(yùn)行成本低。
4、占地面積小。
5、自動化程度高。
6、操作及維護(hù)簡單，無需接觸酸堿。
7、使用安全及環(huán)境良好。
8、無污水排放，無環(huán)境污染。
技術(shù)參數(shù)
電導(dǎo)率：2-10μS/cm（25℃）
PH值：6.5－9
水溫度：5～35℃
總硬度：<0.5ppm
有機(jī)物：<0.5 ppm,TOC為零
氧化物：≤0.05ppm
鐵、錳：<0.01ppm
二氧化硅：<0.05 ppm
二氧化碳：<5ppm
PH值：6.5－9
水溫度：5～35℃
總硬度：<0.5ppm
有機(jī)物：<0.5 ppm,TOC為零
氧化物：≤0.05ppm
鐵、錳：<0.01ppm
二氧化硅：<0.05 ppm
二氧化碳：<5ppm
