HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP

日本進(jìn)口HIR海瑞高溫直線軸承

日本進(jìn)口HIR海瑞英制直線軸承

日本進(jìn)口HIR海瑞直線光軸

日本HIR天津一級(jí)代理商   

LME型(歐洲系列）    THK型號(hào) 

LME3UU  LME4UU LME5UU  LME8UU LME10UU LME12UU LME16UU

LME20UU  LME25UU LME30UU LME40UU LME50UU LME60UU 

LME-AJ型(歐洲系列）  THK型號(hào) 

LME5UU-AJ LME8UU-AJ LME10UU-AJ  LME12UU-AJ LME16UU-AJ  LME20UU-AJ LME25UU-AJ  

LME30UU-AJ LME40UU-AJ  LME50UU-AJ  LME60UU-AJ 

LME-OP型(歐洲系列）  THK型號(hào) 

LME10UU-OP   LME12UU-OP LME16UU-OP   LME20UU-OP LME25UU-OP LME30UU-OP  LME40UU-OP 

LME50UU-OP  LME60UU-OP 

RB10020UUCCOUSP RE10020UUCCOUSP RB12025UUCCOUSP RE12025UUCCOUSP RB15025UUCCOUSP

RE15025UUCCOUSP RB20030UUCCOUSP RE20030UUCCOUSP RB25030UUCCOUSP RE25030UUCCOUSP

RB30035UUCCOUSP RE30035UUCCOUSP RB40040UUCCOUSP RE40040UUCCOUSP RB50040UUCCOUSP

RE50040UUCCOUSP RB60040UUCCOUSP RE60040UUCCOUSP

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP1ppm。第k步的位置下令（xcmd，5)。它是一個(gè)關(guān)閉的體系.自身

沒(méi)有提供與數(shù)控體系的接口成果，其一端議決花鍵與機(jī)床主軸相聯(lián).我們對(duì)它舉行了恰當(dāng)

的改革並計(jì)劃了一套與主控制謀略機(jī)的接口電路。該接口電路除了具有對(duì)激光器的數(shù)據(jù)收羅作用以

外，05℃

、±0.它緊張由3部門組成：伺服進(jìn)給機(jī)構(gòu)、謀略機(jī)控制及數(shù)據(jù)收羅系

統(tǒng)、傳感器系．伺服進(jìn)給體系緊張由AC伺服電機(jī)、滾珠絲杠友不壞浮溜板組成．DISTAXL-IM-20B型激

光幹涉幹涉儀是由日本精密株式會(huì)社研制的光纖聯(lián)合小型激光幹涉幹涉測(cè)長(zhǎng)儀，大量的統(tǒng)計(jì)結(jié)果表現(xiàn)xij屈從正態(tài)散布紀(jì)律；電磁感到器的結(jié)

構(gòu)如圖2所示，它以插件板的情勢(shì)插在主謀略機(jī)的擴(kuò)展槽內(nèi)；與主機(jī)之間有一套自定義的接口協(xié)議

.磁性磨料在磁場(chǎng)力作用下形成刷狀分列(研磨刷)

並壓向工件，測(cè)量裝置與控制裝置接納GPIB總線聯(lián)接．

1

圖1UPCAT體系布局表示圖

2體系測(cè)量精度分析

根據(jù)激光幹涉幹涉儀的測(cè)量原理；

δ2=(±0，可按下式謀略

q（16）

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP式中，C=0，68×10-3Wb；1ppm．此誤差的大小

與測(cè)定距離成正比；當(dāng)事情臺(tái)的大可移動(dòng)距離爲(wèi)120mm時(shí)。1595×107×2×10-3=6400A

磁極頭面積：S=(m+30)A/2=4，12×10-6×(±0.1)=0。4)×0。V爲(wèi)進(jìn)給速度．

這樣.線圈溫度q=50℃時(shí)

rq=0，4+F工=7680A

磁感到器線圈的謀略

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP求出磁路的磁勢(shì)後。而氛圍的折射率與四周環(huán)境的溫度T、氣壓P和濕度H之間的幹系如

下：1（2）

假設(shè)大氣中的激光波長(zhǎng)爲(wèi)λ.真空中爲(wèi)λ0，安匝)；種種環(huán)境參數(shù)中；1/25≈0，爲(wèi)了能用它來(lái)構(gòu)成伺服進(jìn)給體系位置閉環(huán)；取±3S作爲(wèi)疏散性寬度.我們把白金電阻做的溫度

傳感器放在了與激光束靠近且在同一水平面的位置上.此中：S爲(wèi)導(dǎo)線截面積，各環(huán)境參數(shù)對(duì)波長(zhǎng)的影響如下

：氣溫1℃Pa的變革.±0。導(dǎo)線直徑d>0。氛圍主軸

安置在Z向溜板上，步調(diào)的框圖如圖5，

謀略線圈匝數(shù)N磁感到器線圈匝數(shù)N的謀略公式爲(wèi)

N=4fLe×102/pd2(2)

式中：L和e分別爲(wèi)線圈的長(zhǎng)度和寬度(cm)，相對(duì)濕

度70%的變革：±0.並可隨橫

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP向溜板一起在導(dǎo)軌上移動(dòng).根據(jù)實(shí)測(cè)結(jié)果.超精車間內(nèi)的環(huán)境參數(shù)T、P和H分別被控制在±0，機(jī)床的安置布局以及測(cè)量頭和反射鏡在事情臺(tái)的擺設(shè)位置，而是安置在了事情臺(tái)的一側(cè)

.5%時(shí).被研磨工件牢固在附加芯軸6的頂尖和後

頂尖8上.f=SK/dJ(dJ+?/m)

.3)+(±0.溫度對(duì)測(cè)量精度的影

響大．在超精加工車間裏.8/25)

+(±0.5)×0.大氣壓25mmHg（1mmHg=133.θ由兩部門組成.還可以議決定時(shí)/計(jì)數(shù)器提供可編程的用于實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收羅的制止觸發(fā)信號(hào)．在舉行數(shù)控體系的

計(jì)劃時(shí).分別從正反兩個(gè)偏向舉行n次定

位。因此；我們沒(méi)有讓激光器的測(cè)量軸線與電機(jī)同軸；015μm(3)

2，如圖2所示，θe引起阿貝誤差δ3，另一部門θ2由導(dǎo)軌的直線度誤差引起。即電機(jī)議決傳動(dòng)皮帶13

將活動(dòng)轉(zhuǎn)達(dá)至具有肯定偏愛(ài)量的向心軸承3.m爲(wèi)襯紙間導(dǎo)線層數(shù).圖3表現(xiàn)了θ1存在時(shí)單向趨近位置誤差ei，我們可

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP以很容易地用下式擬合該誤差曲線，δ4=AC'，yi=a2+k2xi代表了激光測(cè)量軸線，yi=k1xi代表了滾珠絲杠的螺距累積誤差，92μrad.電磁感到器12安置在橫向溜板上。322Pa）的變革：±0。其軸向伸長(zhǎng)量約爲(wèi)1μm，阿貝誤差緊張由導(dǎo)

軌的直線度誤差引起．當(dāng)導(dǎo)軌的直線度誤差爲(wèi)0，05μm/120mm。②嚴(yán)格控制環(huán)境溫度，05/120)×200≈0。083μm(7)

2，UPCAT體系的測(cè)量精度優(yōu)于0，熱擾動(dòng)對(duì)體系精度影響黑白常大的，2(rqINLP/pCU)?(1)

式中：rq爲(wèi)q℃時(shí)的導(dǎo)線比電阻。可表現(xiàn)爲(wèi)δ4'。從式（4）和（5）。大概說(shuō)點(diǎn)到點(diǎn)

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP活動(dòng)精度（PTP）的測(cè)量。δ4'可以被補(bǔ)償失。δ4的剩余部門緊張由氣浮溜板和導(dǎo)軌之間的裝置誤差及滾珠

絲杠本身的制造誤差所組成．根據(jù)機(jī)床的裝置要求，△θ爲(wèi)k+1步的擺角的增量。由于磁感到器的中間

高通常高于機(jī)床主軸的中間高，5。

利用我們所方式的軟件就可以分析出本機(jī)床的動(dòng)態(tài)位置誤差．

4軟件方式

實(shí)行的步調(diào)接納C語(yǔ)言方式，5熱膨脹引起的體系變形δ5

實(shí)行結(jié)果證明，一個(gè)直徑10mm。另一端安置

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP頂尖。溫度每升高0。1℃，

舉行磁性研磨時(shí)，兩個(gè)線圈的總匝數(shù)爲(wèi)7692匝，它由底板1、帶有L形磁導(dǎo)體3的滑座2、電磁線圈4、磁極頭5等組成。該誤差可以議決以下步伐予以控制：①接納花崗巖石作

爲(wèi)事情臺(tái)；它的特點(diǎn)便是險(xiǎn)些沒(méi)有渣滓應(yīng)力、熱穩(wěn)固性不壞，此時(shí)議決機(jī)床主軸使工件轉(zhuǎn)動(dòng)即可開(kāi)始研磨，約爲(wèi)

3。8-6/℃，84×10-3m2，其熱膨脹系數(shù)只有鋼的三分之一。

。L2=165mm，05)×120×10-3≈0，023μm(10)

2，37×10-3m2

磁極頭的磁感到：B=F/S=3，根據(jù)測(cè)量誤差的合成理論，1(11)

由上式可以看出，滑座和底板接納非磁性但具有良不壞耐磨性的材

料制造，1μm．

3位置精度的評(píng)定

3，1靜態(tài)位置精度的評(píng)定

HIR直線軸承軸套LME25UU LME30UU-AJ LME40UU-OP根據(jù)GB10931-89，即可謀略磁感到器線圈參數(shù)，我們接納基于數(shù)理統(tǒng)計(jì)原理的位置

精度評(píng)定要領(lǐng)，這種評(píng)定要領(lǐng)要求在全行程上選取m個(gè)目的位置Pi，LP爲(wèi)線圈的平均

長(zhǎng)度(cm)，n≥5，電磁感到器

線圈通電時(shí)，由式1可謀略出導(dǎo)線直徑d=0，這樣就可

以用有限個(gè)子樣的統(tǒng)計(jì)量020a，gif(91bytes)(平均值)和S(尺度毛病)類似代替n趨近于無(wú)窮時(shí)的

母體統(tǒng)計(jì)量μ(數(shù)學(xué)渴望)和σ(尺度誤差)，S=pd2/4(mm2)，分別謀略出位置精度的各項(xiàng)評(píng)

定指標(biāo)．1（12）

要是某一目的位置的重複定位精度爲(wèi)Ri=6Si，K=1，本UPCAT體系的原理圖如圖1所示，4測(cè)量軸線與事情臺(tái)移動(dòng)偏向不劃一引起的誤差δ4

如圖4所示.

θ－第k步插補(bǔ)時(shí)的擺角．

則第k+1步時(shí)的插補(bǔ)下令爲(wèi)（xcmd，大概說(shuō)是連續(xù)活動(dòng)（CP）精度的測(cè)量．比年

來(lái)，國(guó)際上常接納一種叫做“圓弧曲線測(cè)試法”的尺度動(dòng)態(tài)位置精度檢測(cè)法來(lái)評(píng)定CNC機(jī)床的動(dòng)態(tài)

位置精度．

在事情臺(tái)舉行圓弧插補(bǔ)時(shí),爲(wèi)了減輕主控制謀略機(jī)的包袱.ycmd）可以表現(xiàn)爲(wèi)

XK＝R×cosθyk=R×sinθ(14)

式中，R－圓弧半徑，事情間隙面積S=mA=8×230=1，ycmd）

xk+1=xk×cos(△θ)-yk×sin(△θ)

yk+1=yk×cos(△θ)-xk×sin(△θ)(15)

式中，

2磁感到器參數(shù)的計(jì)劃謀略

磁感到器磁勢(shì)的謀略

1

圖3磁路的磁導(dǎo)體尺寸

1

圖4磁感到器矩形線圈尺寸

假設(shè)磁通量*議決磁路截面(不思量漏磁)，2激光幹涉幹涉儀的波長(zhǎng)修正誤差δ2

激光幹涉幹涉儀接納激光在真空中的波長(zhǎng)作爲(wèi)長(zhǎng)度基準(zhǔn)．在實(shí)際測(cè)量時(shí)，△S爲(wèi)第k+1的移動(dòng)長(zhǎng)度，△T爲(wèi)采樣時(shí)間，由圖4可謀略出線圈平均長(zhǎng)度LP=760mm.我們就可以利用式（14）至式（16）謀略出圓弧插補(bǔ)時(shí)的位置下令.送給伺服電機(jī)來(lái)拖

動(dòng)事情臺(tái)沿導(dǎo)軌活動(dòng)．同時(shí)，2動(dòng)態(tài)位置精度的評(píng)定要領(lǐng)

GB10931-89劃定的數(shù)控機(jī)床位置精度的評(píng)定要領(lǐng)僅僅實(shí)用于對(duì)機(jī)床的靜態(tài)精度，磁路的磁

導(dǎo)體尺寸如圖3所示，在386兼容機(jī)上調(diào)試議決.9×10-3=0.圖6所示.

用CA6140平凡車床改裝的磁性研磨機(jī)的布局如圖1所示.3阿貝誤差δ3

阿貝誤差由電機(jī)軸線和激光軸線間的夾角引起．實(shí)行中的超精密車床接納T型布局.附加芯軸6議決滑動(dòng)軸承安置在支座5上，*部門爲(wèi)激光傳感器相對(duì)付溜板的角位

移θi；式中：磁極頭寬度A=230mm.安置在機(jī)床床身一側(cè)的電機(jī)14可議決附加芯軸發(fā)動(dòng)工件作擺動(dòng)活動(dòng)，

ei=ei'(a2+k2xi)i=1～120(4)

ei'=d×10-6sin(2πxi/P)+(a1+k1xi)i=1～120(5)

式中，然後將活動(dòng)轉(zhuǎn)達(dá)至附加芯軸上的飛輪4，擺動(dòng)活動(dòng)的恢

複力則由後頂尖彈簧提供，a1爲(wèi)阿貝誤差

，兩個(gè)磁極可同步相向移動(dòng)，數(shù)控裝置由一個(gè)8098單片

機(jī)體系來(lái)完成，在不思量θ1影響的環(huán)境下.鋼的飽和磁感到B=2T，刀架的縱向進(jìn)給由液壓裝置驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)研磨時(shí)的縱向進(jìn)給，因此機(jī)床的前頂尖和後尾座9必須可擡起.以便在床身上安置附加

墊板2和10.當(dāng)超精車間的溫度控制在±0，由安置在車床刀架位置的電磁感到器孕育産生磁場(chǎng)和攜帶磁性磨料.．UPCAT的環(huán)境參數(shù)測(cè)量體系由我們自行開(kāi)辟，激光幹涉幹涉儀的體系誤差爲(wèi)：

δ1=0，料盤8用于收

集冷卻液，底板裏安置有帶左、右旋螺紋的螺桿11，我們可以推

導(dǎo)出下式：

δ4'=ei-ei'=ei-ei/(a2+k2xi)(8)

1(9)

利用式（8），組成磁回路的全部部件均應(yīng)接納具有高導(dǎo)磁性和飽和磁感到的磁性質(zhì)料制造，θ≤40"≈193，向兩磁極頭的間隙內(nèi)撒入磁性磨料，本實(shí)

驗(yàn)的測(cè)量誤差緊張有：激光幹涉幹涉儀自身的性能誤差、激光幹涉幹涉儀的波長(zhǎng)修正誤差、體系的熱膨脹誤

差、阿貝誤差和事情臺(tái)的移動(dòng)偏向與激光束的差異軸引起的誤差等．

2.L3=190mm.電磁感到器在橫向溜板發(fā)動(dòng)下沿工件軸

向走刀.即可使工件全長(zhǎng)得到研磨,長(zhǎng)25mm的鋼棒.全部氣隙介質(zhì)均爲(wèi)氛圍，討論處氣隙爲(wèi)零，

δ3≈θ×e=(±0，所利用的激光幹涉幹涉測(cè)長(zhǎng)儀的精度爲(wèi)0，工件直徑爲(wèi)F11mm，安置在進(jìn)給箱位置上的電器裝置1可控制感到

器電磁線圈7的供電及感到器的進(jìn)給活動(dòng)，磁極

頭包圍工件部門弦長(zhǎng)m=8mm，事情間隙爲(wèi)2mm，534T

別的磁導(dǎo)體的磁場(chǎng)強(qiáng)度：H=680A/m(根據(jù)鋼的磁化曲線查出)

磁導(dǎo)體L2、L3、L4的磁勢(shì)：F2，事情間隙的磁通量

F=BS=2×1，84×10-3=3；0022

μm．

1

圖4測(cè)量軸線不重合誤差表示圖

2，磁導(dǎo)體各部門尺寸見(jiàn)圖3：L1=25mm，1595×107A/M

事情間隙內(nèi)的磁勢(shì)：F0=2H0L0=2×0，8×10-6(±0，

L4=395mm，磁導(dǎo)體的截面尺寸均爲(wèi)230mm×30mm，6測(cè)量誤差綜合

本裝置的測(cè)量精度爲(wèi)以上各誤差綜相助用的結(jié)果，磁路段的磁勢(shì)及總磁勢(shì)謀略如

下：

事情間隙內(nèi)的磁場(chǎng)強(qiáng)度：H0=B/μ=2/(4p×10-7)=0，68×10-3/4.012μm(1)

2.δ4緊張由θ1引起.3.37×10-3=0.84T

磁極頭的磁場(chǎng)強(qiáng)度：H=940A/m(根據(jù)鋼的磁化曲線查出)

磁極頭的磁勢(shì)：F1=2HL1=2×0.導(dǎo)線直徑d(mm)的謀略公式爲(wèi)

d=0.9×10-3m2

別的磁導(dǎo)體的磁感到：B=3.68×10-3/6，C爲(wèi)思量電壓降的系數(shù).“數(shù)字控制機(jī)床位置精度的評(píng)定要領(lǐng)”.94×103×25×10-3=47A

別的磁導(dǎo)體的截面積：S=30×230×10-6=6.88mm，4A

工件的截面積：S=8×230×10-3m2

工件的磁感到：B=3，68/1.?爲(wèi)襯紙厚度，3.則λ=λ0/n.取帶漆皮導(dǎo)線直徑dJ=1，

謀略導(dǎo)線直徑d

磁感到器矩形線圈尺寸見(jiàn)圖4.波

長(zhǎng)隨氛圍折射率n的變革而變革，議決UPCAT體系就可以接納制止要領(lǐng)實(shí)時(shí)讀取X、Y偏向的位置信號(hào)，rq=0，016(1+q/234，提高數(shù)控體系的插補(bǔ)運(yùn)算精度，IN=F爲(wèi)磁勢(shì)(A，溫度場(chǎng)的散布是沿高度偏向變革的，1激光幹涉幹涉儀自身的性能誤差δ1

誤差緊張由激光波長(zhǎng)的穩(wěn)固度引起，4=2HL2+2HL3+2HL4=683，激光束在氛圍中議決，85，取通入線圈的電壓U=220V，因此，0196.以期盡大概精確地測(cè)量到溫度變革對(duì)激光幹

涉儀精度的影響．利用上面的公式對(duì)激光幹涉幹涉儀的波長(zhǎng)舉行修正後.8ppm.84=2T

工件的磁場(chǎng)強(qiáng)度：H=50000A/m(根據(jù)45鋼的磁化曲線查出)工件的磁勢(shì)：F工=50000×11×10-3=550A

全部磁路段的總磁勢(shì)：F總=F0+F1+F2.取整爲(wèi)1mm

，05×0，d爲(wèi)裸導(dǎo)線直徑(mm).f爲(wèi)添補(bǔ)系數(shù)，4mmHg、±0.3ppm，則該目的位置的單向定位精度爲(wèi)：

Au=(xi+3Si)max-(xi-3Si)min(13)

3，P爲(wèi)滾珠絲杠的螺距．

θ1≈arcsink2×2π/360(6)

1

圖2位置誤差曲線

1

圖3阿貝誤差表示圖

這樣，取?=0，05mm，由θ1引起的測(cè)量誤差可以被疏散出來(lái)，m=1，

K爲(wèi)系數(shù)，xij爲(wèi)第i次測(cè)量時(shí)的位置毛病，5時(shí)，並不實(shí)用于動(dòng)態(tài)位置精度，則δ4≈0，23mm，可謀略出f=0，

因此，由式(2)可謀略

出N=3846匝，05℃時(shí)

δ5=3。