硅料烘干選用微波單晶硅烘干設(shè)備速度快
單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發(fā)展的前沿。其可以用于二集管級(jí)、整流器件級(jí)、電路級(jí)以及太陽(yáng)能電池級(jí)單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造，其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。
單晶硅或多晶硅等使用微波干燥的特點(diǎn)總結(jié)如下：
1.時(shí)間短、速度快。
常規(guī)熱力干燥是通過(guò)熱傳導(dǎo)，對(duì)流或輻射等方式將熱量從物體表面?zhèn)髦羶?nèi)部。往往需要較長(zhǎng)時(shí)間，物體內(nèi)部才能達(dá)到所需的干燥度。而在高頻電磁場(chǎng)作用下，這些取向按交變電磁的頻率不斷變化，這一過(guò)程造成分子的運(yùn)動(dòng)和相互摩擦從而產(chǎn)生熱量。此時(shí)交變電場(chǎng)的場(chǎng)能轉(zhuǎn)化為介質(zhì)內(nèi)的熱能，使介質(zhì)溫度不斷升高，故微波加熱是介質(zhì)材料自身?yè)p耗電場(chǎng)能量而發(fā)熱。所以微波加熱處理時(shí)間大大縮短，在一定功率密度強(qiáng)度下，一般只要數(shù)十秒、幾分鐘即能達(dá)到滿意效果。
2.低溫干燥保持微波有熱效應(yīng)的快速升溫和非熱效應(yīng)的雙重作用，相比常規(guī)熱力干燥，能在比較低的溫度和較短的時(shí)間獲得所需的干燥效果。
3.節(jié)約能源。
微波電能轉(zhuǎn)換效率高，一般在70以上。微波是直接對(duì)物料進(jìn)行作用處理，加熱箱體本身不被加熱，因而不存在額外的熱能損耗，所以節(jié)能省電，一般可節(jié)電30—50。
4.干燥均勻。
常規(guī)熱力干燥是從物料表面開(kāi)始，然后通過(guò)熱傳導(dǎo)傳至物料內(nèi)部。物料內(nèi)外溫度存在溫差，內(nèi)外干燥效果一致性差?？s短處理時(shí)間，往往內(nèi)部達(dá)不到足夠溫度而影響干燥效果。采用提高處理溫度可有所改善這一現(xiàn)象。而微波具有穿透性能，表面和內(nèi)部同時(shí)作用，能保證內(nèi)、外部溫度一同達(dá)到要求值，所以干燥物內(nèi)外很均勻。
5.便于控制、易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。
微波干燥設(shè)備操作簡(jiǎn)單，便于控制，沒(méi)有熱慣性，能根據(jù)不同工藝規(guī)范要求進(jìn)行處理，減少生產(chǎn)操作人員，降低生產(chǎn)成本。
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