金屬激光切割機激光波長 1064um

功     率  20W 30W

光束質量 ㎡<1.5

激光輸出功率 10%-*連續(xù)可調

激光輸出頻率 20KHz-100KHz連續(xù)可調

平臺移動精度 3um

重復精度 ±0.001mm

標記深度 ≤5mm 

標記線速度≤7000mm/s 

小線寬  0.02mm 

劃片規(guī)格  2”-6”

劃片厚度  ≤0.8mm

劃片速度 ≤600mm/s 

平臺行程  200mm×220mm

冷卻方式  風冷

運行環(huán)境溫度 15℃-35℃

電力需求  220V/單相/50Hz/<1200W

激光模塊壽命  100000小時

應用范圍

金屬激光切割機

弗鐳斯激光生產的晶圓激光劃片機具有更強的通用性，使用短脈沖激光進行劃片能夠很好的將熱影響控制在很小的區(qū)域內，目前廣泛應用于GPP工藝的晶圓、四元LED晶圓等晶圓的劃片。