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冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率zui大的真空泵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無(wú)污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢(shì),被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域,如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測(cè)試設(shè)備、太陽(yáng)能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。
冷凝泵適用介質(zhì):清水冷凝泵適用介質(zhì)溫度:0℃至120℃冷凝泵使用范圍100N130和150N110型可輸送120℃以內(nèi)的液體,但其他泵輸送液溫不能超過(guò)80℃。
冷凝泵流量范圍:12—120m/h
冷凝泵揚(yáng)程范圍:38—135 m
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:李
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