全氟橡膠 FFPM(Perfluoroelastomer) 優(yōu)點(diǎn):
· 佳耐熱特性
· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
· 低Outgassing 特性
· 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點(diǎn):
· 耐低溫特性較差
· 原料價(jià)格較高
· 生產(chǎn)難度較高
適用范圍:
· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
硅氟橡膠
氟橡膠(FKM,FPM)分子式
?。ㄒ唬?/span> 分子結(jié)構(gòu)
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type
OCF3